基于MEMS地震预警拾振装置与研究.pdfVIP

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V01.33 第33卷增刊(Ⅱ) 大地测量与地球动力学 Supp.(II) 2013年10月 OFGEODESYANDGEODYNAMICS Oct.,2013 JOURNAL 基于MEMS的地震预警拾振装置的研究+ 于来宝1引 陈志高1㈦ 吴雄伟1㈥ 吕 卫 耕伽n ,1)中国地震局地震研究所(地震大地测量重点实验室),武汉 \2)中国地震局地壳应力研究所武汉创新基地,武汉430071 摘 要 基于MEMS技术设计了一套地震预警拾振装置。采用GSK一166振动台对该装置进行测试,并与通过计 量检定的标准传感器ACA3进行比对,结果显示,该装置性能参数基本符合地震预警系统要求。 关键词 拾振器;MEMS;信号检测;振动台;灵敏度 中图分类号:TH762.2 文献标识码:A STUDYoF EARLYWARNINGPICK-UPDEVICE EARTHQUAKE oNMEMS BASED Yu Laiba01,”,Chen Zhiga01,扪,WuXiongweil,2)and¨Hanl2) 43007 LaboratoryofEarthquakeGeodesy,InstituteofSeismology,CEA,Wuhan /1)Key 1\ BaseInstituteCrustal 430071 』 \2)Wuhanof of Dynamics,CEA,Wuhan Abstract of was BasedontheMEMS aset early devicedesigned.The technigueearthquakewarningpick.up GSK-166 tabletotestthe withthestandardsensorAC43 the designadopts device,and shaking compared through testresultshowsthatthedevice meetthe of metrologicalverification,the performanceparameters requirements earthquakeearlywarningsystem. words:seismic Key detection;vibration monitoringdevice;MEMS;signal table;sensitivity 本文针对应用于地震预警系统中的仪器指标, 1 引言 设计了一种的新型的MEMS微加

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