基于Modelica光刻机超精密工件台建模仿真.pdfVIP

第28卷第2期 湖 北 工 业 大 学 学报 2013年04月 VoI．28NO．2 ofHubei of Journal Technology University Apr．2013 [文章编号]1003—4684(2013102—0072—04 陈鹏飞，王彦伟 (华中科技大学国家CAD支撑软件工程技术研究中心，湖北武汉430074) [摘 要]采用Modelica语言，建立光刻机超精密工件台仿真模型库，并在Mworks平台上进行联合仿真．仿真结果 验证了模型的正确性，表明工件台的定位精度符合光刻机的设计要求．该仿真模型库包括直线电机模型、工件台动 力学模型、PID控制器模型、逆变器模型等子模型，还可进行轨迹规划算法的比较分析，为光刻机超精密工件台的 设计和改进提供了重要的分析工具和方法． [关键词]Modelica；超精密工件台；直线电机；PID控制器 [中图分类号]TP391．9 [文献标识码]：A 超精密工件台系统是光刻机的核心部件之一， 机方程按照统一电机理论作线性变换，实现耦合方 具有定位精度高、响应速度快、动态性能好等特 程的解耦．建立在d—q轴坐标系下的PMLSM数学 点口1]．文献[4]采用Matlab和Adams联合仿真的模型‘63如下： 方法分析工件台的振动特性，并对工件台进行轨迹 规划，取得较好的分析结果．由于需要将Adams中 ； 的数据转换到Matlab中，过程繁琐容易造成数据丢 z 电压方程{ua。一=RR^,id++pe．a+--∞OO如Cqlt．PCqI口2代jq十 十∞妒。 失．传统仿真大都基于某一特定领域软件，只能有效 应对某单一领域的建模仿真．鉴于此，为了更加完整 电流方程 地仿真分析工件台系统，多领域仿真技术就显得尤 阱 为重要．Modelica语言采用面向对象的建模思想可 以对耦合有机械、控制、电气、热、流体等多个领域的 一 R／L 『一R√L：L—qco／Ld。]E：]+[(甜。一ud／LdL-LdoJ／L。 。_|0。J。L(甜。一 。j’ Csco)／L。]； 复杂产品进行物理建模和仿真分析[5]．本文采用 f乒d—Laia+妒， Modeliea语言对工件台系统进行多领域统一建模 磁链方程 {， ，． ； q29 和仿真：首先给出了直线电机、控制以及工件台的数 l pq—L 学模型；再基于这些子模型搭建工件台系统的Mo— 电磁推力方程 delica多领域仿真模型；最后给定参数，对工件台进 F。：笔≥(驴，i。+(L。一Lq)i。i。)一K矗； 行仿真分析