超声悬浮一气浮混合式悬浮的承载力特性研究.pdfVIP

第 47卷 第 5期 西 安 交 通 大 学 学 报 Vo1．47 NO．5 2013年 5月 JOURNALOFXI’ANJIAOTONGUNIVERSITY M av 2013 DOI：10．7652／xjtuxb201305010 超声悬浮一气浮混合式悬浮的承载力特性研究 刘家郡 ，江海 ，尤晖 ，焦晓阳’，刘建芳 ，杨志刚 (1．吉林大学机械科学与工程学院，130022，长春；2．中国科学院合肥智能机械研究所 ，230031，合肥) 摘要：为了确保在一定的振动幅度和精度的条件下提高气动悬浮的承载力，提 出了一种采用超声 悬浮一气浮混合式悬浮方式来提高气动悬浮承载力的新方法。通过 ANSYs软件对超声悬浮核心 部件 (压电换能器)进行优化设计加工，制作 了混合式悬浮装置 实验样机，并进行 了悬浮能力的测 试 ，得到的实验测试结果与理论计算结果相一致。优化后 的圆盘压电换能器可悬浮起质量为3kg 的物体 ，单位面积的悬浮质量可达 59．7g／cm 。实验 结果表 明，该混合式悬浮装置的悬