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2001 年 12 月 北 京 航 空 航 天 大 学 学 报 December 　2001 　第27 卷 第6 期 Journal of Beijing University of Aeronautics and Astronautics Vol. 27 　No 6 串并联微操作机器人系统的研究 赵　玮　　于靖军　　毕树生　　宗光华 (北京航空航天大学 机械工程及自动化学院) 　　摘 　　　要 : 介绍了一套完整的微操作机器人实验系统 ,该机器人系统是在一 种用于微操作的新颖的串并联机构基础之上建立起来的. 针对串并联微动机构的特 点 ,提出了一种电容式测微仪与计算机视觉系统相结合的运动学标定方法. 同时 ,为 实现对压电驱动元件的精确控制 ,采用了一种参数切换的变速积分 PI ( Proportional Integral) 控制算法 ,并收到了预期的效果. 最后对该系统进行了微动画图实验 ,得到了 理想的圆形和矩形轨迹图形. 实验结果表明 ,该微操作机器人系统的组成及控制、标 定方法对完成高精度微操作任务是有效的. 关 　键 　词 : 运动学 ; 机器人 ; 标定 ; 串并联机构; 微操作 中图分类号: TH 112. 5 ( ) 文献标识码 : A 　　　　文 章 编 号 : 2001 　　微操作技术是当今最重要的关键技术之一 , SPM 做了详尽的运动学分析后[4 ] ,设计并建立了 ( ) 可体现在微电子、微机械加工及装配、生物细胞显 串并联机构样机 图2 . 为获得超高精度 ,各运动 微操作、显微外科及光纤对接等应用中[1 ] ,[2 ] . 副采用柔性铰链的形式 , 并采用日本 Tokin 公司 在微操作系统中 ,操作对象非常微小 ,对精度 生产的 AE0505D16 型 PZT 为驱动器. 的要求也特别高 ,甚至要达到纳米级的精度. 而这 对于手工操作或者利用普通机构进行操作将难以 满足要求 ,这时亟待开发出具有高精度和自动化 水平的微操作机器人系统 ,为此设计了一种串并 联微操作机器人样机 ,并在此基础上建立了一套 完整的微操作机器人实验系统. 机构的各运动副 采用柔性铰链形式 ,可消除机构间隙及摩擦. 驱动 图 1 　机构简图 器选用具有响应速度快、分辨率高、输出力大等优 ( ) [3 ] 点的压电陶瓷 PZT . 但 PZT 中存在着迟滞和蠕 变等现象 ,为达到精确定位的目的 ,本文采用了参 数切换的变速积分 PI ( ProportionalIntegral) 控制算 法. 同时 ,本文还针对串并联微动机构的特点 ,采 用了一种电容式测微仪与计算机视觉系统相结合 的运动学标定方法. 最后利用该系统成功地完成 了微动画图实验. 1 　串并联机构样机 图2 　机构样机 在微动机构选型上 ,提出了一种六自由度串 输出点 C 处微运动量与各关节输入微位移 ( ) 量之间的关系表示为 并联机构 SPM ,如图 1 所示. 它由空间 3RPS 并 联机构与平面 3RRR 并联机构两级串联而成. 对 d X = J ·d L