铝掺杂氧化锌（AZO）废弃靶材回收再利用的研究（英文）.pdfVIP

铝掺杂氧化锌(AZO)废弃靶材回收再利用的研究／董雪振等 ·105 · StudyonRecyclingWasteAluminumdopedZincOxide(AZO)Target DONGXuezhen ．WU Renping (1 SchoolofMaterialsScienceandEngineering，FuzhouUniversity，Fuzhou350108；2 SchoolofArchitecture， FuzhouUniversity，Fuzhou350108) Abstract Aluminum-dopedzincoxide (AZO)targetswerefabricatedbyslipcastingandatmosphericpressure sinteringfrom amixtureofAZOpowderandthepowderobtainedfrom grindingwasteAZO target．Relativedensity， waterabsorption，linearshrinkingandresistivityoftheAZO targetsweremeasured．Morphologyandmicrostructure oftheAZO targetswerecharacterizedbyXRD andSEM．Althoughtheadditionofrecycled targetpowderaffected slightlythepropertiesofnew AZO target。theresultsshowedthatwhensinteredat1450℃ for5h，thenew AZO tar— getwith10 wastepowderhasgoodproperties．Itsrelativedensityreaches99．24 ，waterabsorptionandshrinking percentageare17．96 and15．70 respectively，andresistivityis2．12×10 Q ·cm,Theslightlyworseproperties ofthesenew AZO targetswithrecycledAZO targetpowdermaybecausedbyincompatibilitybetweennew andrecy— cledpowder． Keywords AZO target，wasteAZO target，recycling 铝掺杂氧化锌 (AZO)废弃靶材 回收再利用的研究 董雪振 ，吴任平 (1 福州大学材料科学与工程学院，福州 350108；2 福州大学建筑学院，福州 350108) 摘要 将 AZO原料粉末和AZO残靶研磨后的粉末混合，采用注浆成型和常压大气烧结工艺制备靶材，实验 主要测试 了相对密度、吸水率、线收缩率和电阻率等性能，并通过 XRD和SEM表征 AZO靶材的晶体形态和微观结 构，与新靶材进行性能对比，研究残靶粉末回收利用对靶材性能的影响。残靶粉末的加入对 AZ0靶材有轻微影响， 测试结果显示烧结温度 1450℃、保温5h、AZO残靶加入量为 1O 时有较好的性能：相对密度高达 99．24 ，吸水率 和收缩率分别为 17．96 和 15．70 ，电阻率为2．12×10 Q ·cm。含有残靶的AZO靶材稍差的性能可能归结于 AZ0粉末和残靶粉末的兼容性。 关键词 AZO靶材 AZO残靶 回收利用 中图分类号：TB321 文献标识码：A DOI：10．11896／j．issn．1005—023X．2015．02．023 Zincoxide isr