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多晶硅副产物四氯化硅的低耗能回收技术研究.pdf
: 873
*
1 1, 2 1 1 3
郭劲言, 刘 雯 , 马秋平 , 孟庆森 , 杨国鑫
( 1 , 030024; 2 , 030024;
3 , 046204)
: 介绍了多晶硅生产过程中的副产物四氯化 ; ;
硅的 效低耗能综合回收利用方法探讨了四氯化硅
的先进回收技术的研究应用进展, 包括四氯化硅有机 ,
硅转化白炭黑转变对四氯化硅的提纯和光导纤维应 ;
用, 以及热氢法还原为三氯氢硅和电解还原四氯化硅 ;
对各种转化途径的技术关键作了相关的对比分析重 ,
点提出了低压低温电解还原四氯化硅和纳米多晶硅的 ,
先进制备技术 ,
: ; ; ;
: X78 : A 21 [ 1]
: 2009) 087303
,
1
,
,
,
, ( Gri nar d )
, :
RX+ M RM X
: , R= , X= Cl Br ( 3)
, 85% SiCl4 + RM X RSiCl3 + R2 SiCl2 + R3 SiCl+
: R4 Si ( 4)
Si+ 3HCl SiH Cl3 + 15H2 ( 1) Si( OR) 4 + RM X RSi( OR) 3 + R2 Si( OR) 2
Si+ 4HCl SiCl4 + 2H2 ( 2) + R3 SiOR R= CH3 C2 H5 ( 5)
, ( 1) , ( 2) SiHCl3 WurtzFitti
80% ~ 85%, SiCl4 20% ~ ,
15% ,
6t, , ! Si X+ RX+ Na ! Si R+ NaX ( 6)
10t ! Si OR+ RX+ 2Na ! Si R+ NaX+
NaOR
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