VG-1+高灵敏真空控制仪的研制.pdfVIP

VG一1高灵敏真空控制仪的研制 沈阳真空技术研究所 吴春阳康宁孙旭 摘要：本文简要介绍丁应用扩散硅压力传感器研制的VG～1高灵敏真空控制仪 关键间：扩散硅压力传感器绝对真空计 l、引言 在实际的真空测量中，测量结果不仅仅决定于真空计本身，而且还与许 多因素有关，其中尤以气体种类为最。在通常的真空系统中，被测气体成分 有空气、水蒸气、油蒸气和工艺要求的气氛等混合组成。而大多数相对真空 计(热传导、热阴极、冷阴极真空计等)由于工作原理的影响，测量结果与 气体种类有关，因而影响测量精度，误差较大。 j0年代末，美国Honeywe]1技术中心完成了扩散硅压敏电阻特性的基 础研究，70年代瑞士Kel]er公司生产的传感器进入市场，广泛应用于医疗 器械、工业控制、液位检测、及飞行高度检测等，80年代末，应用于低真 空测量仪表。本文介绍的VO一1高灵敏真空控制仪就是应用扩散硅压力传感 器研制的新一代真空测量、控制仪表。主要特点：测量结果是气体和蒸气的 全压力，与气体种类、成分、性质无关：测量过程中改表吸气、放气小，内 部无高温部件，不会使油蒸气分解；是绝对真空计，精度高、反应快；通过 特殊设计，能够测量腐蚀性气体。 2、扩散硅压力传感器的工作原理 单晶硅材料经掺杂后具有随压力变化，电阻率发生变化的特性，即 压阻效应。对于＼型单晶硅掺硼的材料，具有如下关系： (△R)=F(Ⅱ0)o=中(P) 其中： △R一电阻的变化值 n一压阻系数 。一作用于硅片的应力 P_作用于硅片的压强 可知通过电阻的变化，能够反映压强的大小，且电阻的变化和压力的变化之 间具有良好的线性关系。 r寸T压门 卜乓拦斗日 I R3 R4 I 1 I 每轴 图1压力传感器 该压力传感器是由四个力敏电阻按惠斯登电桥连接组成的。(图1)当 压力为零时，在理想的情况下，电桥的输出AV=0；当压力作用时，电桥输 出△V=I事△R=似△r／r，式中I，V为电桥的供电电流或电压，R为电桥 单臂电阻值，△R为单臂电阻随压力的变化量，利用此原理即可对压力实现 测量。工作方式有绝压、差压和裹压三种。作为真空规管，选用绝压传感器 较为合适。传感器为恒流式激励，可保证测量的范围和稳定性。 3、VG-I高灵敏真空控制仪 3．1VG-I高灵敏真空控制仪的技术条件为： 测量范围：大气一10Pa．误差小于4-0．2％FS： 控制范围：大气一10Pa； 控制方式：继电器输出，负载能力AC220V／3A无感负载： 控制点数：八点或更多； 控制准确度：优于0．I％： 控制响应时间：200ms： 电源：AC220V±20％，50HZ。 3．2vG一1高灵敏真空控制仪由规管和测控系统组成 规管由扩散硅压力传感器经符合真空测量的要求组装构成，规管与真空 系统的连接管径为中15．5哪，密封方式与通用真空规管相同。测控系统由检 136 测单元、、E控单元、显示单元、控制执行单元、通讯单几及电源组成。 3．：．j检测单元 检测单元作为控制仪的前级，主要包括信号调理电路和模／数转换电路 两部分。它将传感器输出的初级电信号经电平转换电路、放大电路和滤波}U 路转换为标准的0--5V电压信号，再经A／D转换器转换为足够精度的数字信 号输入堕片机=鱼片机对采样值进行数字滤波处理和计算得到压力值： 信 弓调王甲的重点为输入信号的零点校正、增益及滤波频率的设定等。输入级录 用高输入匿抗放大器以增强检测单元的抗干扰能力，稳定零点，减小零漂羊¨ 温漂。A,／D转换芯片选择转换精度高、转换速度快、多通道模拟信号输入且 ‘匦价bl：i丽的芯片。 ：；二．二丰控单元 本仪器使用的AT89C52是美国ATMEL公司生产的高性能低功耗8位单 片机。它是ATⅥEL89系列单片机中的一种，采!目MCS51核心，内部集成有 8K字节可改写的闪速程亭存储器，允许擦写