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MMI C多位移相器参数测试 高摹琢．-剃孚椎怠产业部屯干第十三研究所050051 攮要：本文介绍了mIIC乡位穆扫器的主要技术参效、禹试原理爱测试方法· 一MMtc多位穆相羹技术参救 MMIC多位移相嚣技术参蠡包括工作鞭率、相对相移、插入掼耗、输入驻波 比、输出驻波比筹．本文以砷化慷MMIc五位F盯移相毒为倒． =MMIC多位移相嚣膏试蒙理 · MMIC多位移相嚣测试系统采用毫警公司的删鸭5I瞻矢量罔络分折仪、程控电 曩、TRL-3000系列舅斌夹具及校准件、测试夹块．翻试系统方框田如圈一． 图一测试系统方框圈 计算机首先控制FIP8510B矢量网络分析仪进行控准．然后进行霸试．报舔测试 要求控翻HP6626A程控电源．改变靛测试的MMIC五位移相嚣所舞要的五路电压值． 再旃试相对相移、插入损耗、输入驻渡比、输出驻波比莓，量后打印测试结果． 黜臀5渊妇觊黯黯C(蜘mtr一№钿p吣(刚’确由)‘w∞舯dl肭6 圈=MMIC蛾体装配片 ·24· 。理想的矢量网络分析仪系统有jE限丈的动态范围，良好口朔_膏度和方f每性．备部 件间无失配误差，平坦韵撬事响应．然而实际的测试系统却存在着系统误差．通过校 准减小系统误差．提高酒试准确度．误差_瑁定量地记为方向性．熏失配．负载失冠· 隔离度和跟踪误差(颇率响应)．两端口传输和反射误整项包括十二项：反射测量有 效方向性EDF、郎啊．反射铡量跟踪误差船F、敝R，等效谭失配误差酷F、酷R·等 效匹配负载失配误差ELF、ELR．传辅测量跟踪误差ETF、m．传●_测量隔离度EXP、 EXR．IB)t可调测试夹具TF一3000系列为许多微波半导体潮试提供了高性能的测试平 台．目前我们采用TF--3002测试夹具进行校准．技准件包括短路嚣、匹配负载、徽带 线Ll、徽带线L2、直通线．对HP8510B矢量网络分析仪进行校准．校准后参考面建立 在苍片包括引线的输入端和输出端如图二所示，通过校准消豫上述误差项，提高溺试 准确度． 三MMIC多位移相嚣测试方法 分析仪、计算机依次开机预热后，进行l盘准．然后测试．对于五位MMlC穆相嚣·加 五路电压以改变相位的值．穆桕器相位以11．25‘步进．捆位范围从0。到348．75’．因 此有32种状态，计算机控制程控电源及矢量网络分折仪测试系城自动打印测试数据． 程序流程图如图三所示．该舞试程序既可以铡试32种状态下的柜对柜穆、插入损耗、 输入驻波比、输出驻波比．也可以测试某一种状态下的檄渡参数． 四MMlC多位移棚嚣测试结果 我们已经成功地测试了MM[C五位珏相嚣的各项参数揩标．舞I试控序运转正常。 测试结果非常理想．但是渊试过程中．由于不帔触摸电缆造成相对相位测试误差·遇 到这种情况应重新建立0‘参考．进行测试． 谢试过程中的误差包括系统误差．随机误差．漂移误差．系统误差是曩丈的误差 源．绝大部分系统误差可以通过按准涫黠．经过短路嚣．负载器．已知长度的徽带缱 这些标准进行测试．通过数学运算消除测试系统的系统误差．髓机误差包括热噪声- 连接嚣的重复性及电缆的稳定性．热噪声包括信号源．车扼攘嚣中的热峰声．校准件 连接的重复性及电缆的稳定性．对于同一微波电路．二次不同时的测试，滔试结果略 有不同．漂移误差是由技准后整个测试系统的变化产生．这些误差可逼过另一次搜准 消除．但如果产生更多的漂移．这些误差又会重现．这是由于技雍的标准引起．饲如 ∞欧姆标准负载在整个频率范围内存在误差等． ·25· 111--测试系统程序巍程图 参考文献； 1‘近代徽波测量原理)董树义西安电子科教大学 2 1HP8510矢量恻络分析仪惠普公司 3(T／It组件专辑信息产业部电子第十三研究所 4‘徽波器件与电路)王蕴仪江苏科学技术