机电一体 第3章 传感器和转换器.ppt

第三章 传感器和转换器 3．1 概 述 在许多测量系统中，传感器和转换器都是用来提供系统状态信息的。 国际上对“传感器”和“转换器”采用不同的定义,但在有些情况下它们的定义可以互换。 本课程采用后续定义： 传感器、转换器定义 传感器——在测量系统中，对所测(特定)物理参数发生响应的器件。 转换器——把能量和信息从系统某一部分传送到系统另一部分的器件。在传送过程的同时，能量形式也可能发生变化。 　　　在使用时通常不做严格区分。 数据测量时的前处理和后处理 除了传感器和转换器外，测量系统还包括一个预处理级和后处理级，如图所示。 预处理级是在信号与传感器接触之前提取信号特征，然后对输入信号检测、响应并将输入信号提供给传感器。 传感器输出的信号经过后处理级的处理后得到最终输出信号。 例：用码盘、光敏传感器测量 图所示的转速测量系统可以表示各级之间的关系。图中，从光源发出的光经过带有狭缝的圆盘(称为编码盘)后产生一系列的脉冲，换能器接收这些脉冲并将其转换成电脉冲。后处理级对一定时间间隔内发生的脉冲进行计数，并计算出编码圆盘的旋转速度。 传感器传递信息的物理基础是能量转化。 有6种能量形式可用于信息传递。 其中，电能在机电一体化系统中最为重要，这是因为电信号易于处理。当然其他能量形式也能转换为电信号。 无源和有源传感器 　根据能源利用情况，传感器可分为：在转换中不需要外界附加能量的无源(直接式）感器和在转换中需要外界附加能量的有源(间接式)传感器。 光电转换装置和热电偶等直接式传感器就是直接把输入能量转换成电能输出的。应变片和霍尔器件等间接式传感器则需要附加能量以产生电信号。传感器所需的附加能量必须属于上述6种能量形式。 3.1.1传感器和转换器的分类 1．根据功能分 2．根据性能分 3．根据输出信号分 典型被测机械参量 位移——线位移和角位移； 速度——线速度、角速度和流速等； 加速度——振动； 几何量——位置、长度、面积、厚度、体积、光洁度等； 质量——重量、负载、密度； 力——静力、动力、压差、力矩、功率； 其他——硬度、黏度。 测量时的性能指标 性能可以用精度、稳定性、线性度、灵敏度、量程等静态性能和响应特性的动态指标来评估。在选用器件时必须考虑这些指标。 输出信号种类 模拟量输出——产生一个连续的输出信号，信号的某些性质直接与被测量大小有关。 数字量输出——产生一个串行的或并行的数字信号，信息可以在一些固定的时间间隔上提取，也可以按要求提取。 频率输出——产生的信号频率是被测量的函数。输出的连续波形或脉冲波形，可以用计数器和定时器将其转化成数字形式。 代码输出——可以产生各种不同的编码信号，包括：振幅调制、频率调制、脉冲宽度调制和脉冲位置调制。 在选用传感器或转换器时，用什么样的输出信号形式并不十分重要，因为用模/数(A/D)转换器和数/模(D／A)转换器都可以获得所需的形式。重要的是测量元器件的功能和系统的总体性能指标必须满足要求。 3．1．2传感器技术的发展 传感器技术发展，主要表现为：半导体硅材料传感器、采用光纤的光学系统、压电器件、超声器件等等。 新型转换器 1. 固态转换器 2. 光电转换器 3. 压电转换器 4. 超声转换器 固态转换器 　　用厚薄技术生产出的硅材料传感器已被广泛使用。微加工技术已经能够把很复杂的机械结构做成集成电路芯片大小的尺寸。应变片、加速度传感器和压力传感器中用的梁、膜等构件就是用微加工技术制造的。甚至像齿轮、杠杆和马达这样复杂的结构也有望制造在一个芯片上。 　　在可靠性、信号处理能力、信噪比和成本等方面，硅材料及其他半导体材料做成的传感器有很大的优越性。 光电转换器 光敏技术是在激光、光电探测器、光纤、光学材料和信号处理技术的基础上发展起来的。光电转换器的应用很广泛，既可以测距离，也可以测应力。除此之外，由于摄像技术的发展，用于测量的视觉系统随之产生。 压电转换器 作为微型加速器和超声测距系统的基础，压电器件已经被使用了许多年。用表面声波(SAW)技术已经能开发出用于气体探测和压力敏感场合的压电转换器。 超声转换器 作为非接触式测量手段，从过程控制系统到医疗成像系统，超声测量的应用范围日益广泛。与接触式测量相比，非接触式测量有以下优点： 1)减少了接触爆炸性、放射性、毒性、腐蚀性或易燃物质可能产生的危险性； 2)避免了对药物或食物等被测物的接触污染； 3)简化了对传感器和转换器的维护。 超声测量靠对超声脉冲的多普勒(Doppler)效应或对超声脉冲的反射、吸收及散射来得到信息。 3．2 电阻型传感器 电位器 应变片 电阻式温度传感器(电阻温度计、半导体热敏元件) 电位器 最简单的电阻型传感器是电位器，电位器有旋转型和直线型两种形式，