悬臂梁式微机械隧道陀螺的结构设计与性能分析.pdfVIP

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2017-08-12 发布于重庆
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悬臂梁式微机械隧道陀螺的结构设计与性能分析.pdf

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悬臂梁式微机械隧道陀螺的结构设计与性能分析.pdf

( ) 　　　　　　　　　　　　传感器技术 Journal of Tran sducer Technology 　　　　　　　　　　　2005年第 24 卷第 2期 48 悬臂梁式微机械隧道陀螺的结构设计与性能分析 1 2 李文望 ,孙道恒 ( 1. 厦门理工学院机械系 ,福建厦门 361005; 2. 厦门大学机电工程系 ,福建厦门 361005) 摘　要 : 介绍了电子隧道效应在微机械陀螺仪中的应用 ,根据电子隧道效应的特点与要求提出了隧道陀螺仪的结构方案 ,利用 AN SYS进行系统模态分析、静电-结构的耦合场分析及系统的性能分析。讨论了系统的机械灵敏度及隧道电流与隧道电极间隙的关系。关键词 : 微机械 ; 隧道陀螺仪 ; 电子隧道效应 ; 耦合场分析中图分类号 : TP2 12　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 1000 - 9787 (2005) 02 - 0048 - 03 Structura l design and performance ana ly sis on can tilever beam m icromach ined tunneling gyroscope 1 2 L IW enwang , SUN D aoheng ( 1. D ept of M ech, X iam en In stitute of Technology, X iam en 361005, Ch ina; 2. D ept of M ech an d Elec Eng in, X iam en Un iversity, X iam en 361005, Ch ina) A b stract: App lication of electron tunneling effect in m icrom ach ined gyro scop e is described. A ccording to the p rerequ isite and characteristic of tunneling effect, a schem e of gyro scop e structu re is p re sented. Modal analysis and electro staticstructure coup ling analysis and p erform ance analysis are de scribed by u sing AN SYS software. M echan ical sen sitivity and relation between the tunneling curren t and the distance of electrode are discu ssed. Key word s: m icrom ach ine; tunneling gyro scop e; electron tunneling effect; coup ledfield analysis Δ -