硅光电导探测器研制.pdfVIP

第三届全国核仪器应用学术会议论文集 ofthe 3th ProceedingsNationalConferenceOnNuelearInstrumerit 硅光电导探测器研制 施志贵，贾焕义 (中国工程物理研究院电子工程研究所，绵阳621900) 摘要：和用高皿硅单晶．用真空燕发的方法．研制成功了一种新型高速光电导辐射撵测器，可用于 较低偏压下应用的低注量丫脉冲触发器．简述丁探测器的物理设计、结构设计以及工艺制作． 关蕾词：高阻硅；真空蒸发；高灵敏 S=q／d=I／p (1) 0引言 式中，Q和j分别为光电导探测器输出的 利用I、V族元素的晶体化合物进行化学 电荷量和电流，D和P分别为光电导体灵敏体 掺杂金属的光电导体，如Ga