薄膜滤波器的研制.pdfVIP

维普资讯 ANDTECHNOO【GY r L 傅凯文 解金山 本文作者傅凯文先生 北极光电(深圳)有限 公司总经理、硕士，解金山先生，教授。 薄膜滤波器的研制 2005年4月30日收到。 关键词：薄膜滤波器 纳米码技术 薄膜干涉滤波器与其它滤波器(如 一 引言 二 薄膜滤波器的结构与 工作原理 AWG FBG等)相比，具有插损小、隔 离度高 串扰小、工作稳定性好等优点。 光学滤波器被广泛地应用于光纤通 信，民用高科技产品中的光电显示、航 薄膜滤波器是在玻璃衬底上或玻璃 从近几年广泛的应用实践来看，其优良 空航天以及军事技术当中，是一类非常 陶瓷衬底上，通过精确的镀膜工艺，将 性能已得到公认，是实际应用中的首选 重要的光无源器件，由于它的功能不可 SiO2和TiO2交替沉积在其表面上，沉 品种 替代，而且用量较大，所以已形成了一 积厚度为分子层量级，根据需要 沉积 个新兴产业 。 层数从几层到几百层不等。层数越多 三 制作工艺 所谓光学滤波器 即光频选择器， 通过的响应谱曲线越接近矩形 滤波器 它能使某一光频通过而使其它光频被阻 性能越优越。 制造薄膜滤光片，北极光电是依赖 断，因为具有这种功能，它可使混合的 图 1是薄膜滤波器结构示意图。多 自己专有的纳米码 (NanoCODE ) 光波一一被分开，变成单一频率的光 层交错介质膜组成反射器，并构成法布 技术。这是一种集滤波器设计、镀膜工 波。光纤通信复用系统中所用的光解复 里一泊罗谐振腔。它的工作原理是这样 艺和控制技术于一体的系统技术，纳米 用器就是利用这种原理将复用的混合波 的：每层介质膜既可透射一部分光又可 码技术生产出的产品重复性好 一致 解复用为单一的光载波。 反射一部分光，每层介质膜界面上多次 性好 预测性高、成品率高。依赖纳米 光滤波器的种类很多 按照选频特 反射与透射 进行光学干涉 线性叠加， 码的设计软件，能按照生产工艺准确地 性划分为带通滤波器、带阻滤波器 低 当两个薄膜界面上来回反射和透射的光 设计出客户所需的各种薄膜滤波器 依 通滤波器 高通滤波器以及梳指滤波 程差为光波长时 多次透射光同相加 赖纳米码的控制系统，能精确地模拟和 器j从选频功能划分 有固定光频滤波 强，形成更强的透射光波 反相则相消， 控制镀膜工艺，使其镀层厚度在分子层 器和可调光频滤波器；若从结构上划分 所以薄膜滤光器也称为薄膜干涉滤波器。 量级 ，并且具有极好的重复性和一致 种类就更加繁多 有薄膜干涉滤波器 只要适当地设计多层介质膜系 就可得 性。 (TFF) 阵列波导光栅(AWG)滤波器 到性能良好的滤波器。 此外，我们还研究出了一