三坐标测量机基本运动误差的相关性及其建模.pdfVIP

三坐标测量机基本运动误差的相关性及建模 林述温 吴昭同严拱标 浙江大学(310027) (福州大学350002) [摘要】本文针对现有几何误差软件补偿过程中采用线性插值法推算该模型中的十八项 基本运动误差所存在的问题，首次从理论上系统地分析论证了构件沿各坐标轴运动十八 项基本误差的直线度误差与转角误差的内在关系，得出对基本运动误差神经网络建模有 指导意义的结论。 关键词：坐标测量机；运动误差；建模分析： O．引言 几何误差软件补偿技术在三坐标机中的应用正日益普及，目前三坐标测量机的几 何误差软件补偿技术中广泛采用的刚体运动误差模型，描述了三坐标测量机各运动构件 的二十一项基本运动误差与坐标测量误差的关系。据此模型实旖误差软件补偿需先检定 出二十一项基本运动误差，其中三项是三坐标测量机三个坐标轴问的垂直度误差，其余 十八项分别是三个坐标变量X，Y，z的连续函数。在实际检定三个坐标轴导轨的基本误 差时，只能按一定的坐标位置间隔离散地检测出各项误差，在测量机工作补偿时，被测 点可能不在采样点上，这时就需要按一定的规则(如：插值法)或模型推算其十八项基 本误差，目前主要采用查表插值法确定B2I。由于实测基本误差数据中总是或多或少地 存在噪声，直接在基本误差数据上进行线性插值，等于叠加了噪声的数据而没有均化噪 声，其插值往往波动厉害，泛化性不好，势必影响几何误差补偿精度。需进一步研究各 项基本运动误差间的内在关系，以便为探讨新的建模方法提供理论依据。 1．十八项基本运动误差的特征分析 目前，三坐标测量机各运动构件的导轨通常是采用气浮导轨，为分析运动构件沿三 个坐标方向导轨移动时，各项基本运动误差变化的特征及其与导轨表面轮廓形状的关 系，可把运动构件和导轨间的关系简化成图1所示的模型。不失一般性，设构件沿x 方向移动，当导轨支承面较宽(即Ll较大)时，运动构件由气垫中心A1、A2、A，三点 与导轨面接触；当导轨支承面较窄时(即L1较小)时，运动构件通过气垫中心A1、A2 两点与导轨面接触。x向主导轨表面的轮廓在Z向的直线度可用五次多项来表示为： - 5 屯∽=∑Z-一 (1．1) ’ i，lo 式中：毛(i=o，l,,5)为多项式待定系数。 则构件沿x导轨运动时，其气垫中心与导轨的接触点Al、A2在Z向的直线度误差为： X 图1．动构件及其与导轨面接触状态简图 乱(x)=∑Z·(x一厶，2y (I．2) IlO 5 毋k(工)=∑Z·(x+厶／2y (1．3) O 式中：k为两气垫中心An、A2的跨距。 这样构件沿x轴运动时，绕y轴的转角误差可表示成： 厦工)：垡趔掣 (1．4) 卸 将(1．2)、(1．3)式代入(1．4)式并令： 』+孚以+鲁小o A=：2·五+五·蜀 如=3·石+25·石·骂 (1．5) 如=4-^ 如=：5·五 则整理司得： 厦x)=^·工+如·xz+岛·x3+64-工4=∑岛·一 (1．6)