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三坐标测量机综合示值误差的 测量结果不确定度 田 勇 赵一党 (天津市计量技术研究所天津300192) 抽l：关于三坐标测量机在检嗣与建标工作中的不确定度分析。本文分别对嗣量机和 标准嚣的标准不确定度进行了具体分析。 关■一：三坐标涮量机激光干涉仪量块不确定度 依据1]G199—92(Z坐标测量机检定规程，对三座标捌t机进行检定时，分为示值误差检定 与综合误差检定。示值误差检定采用激光干涉仪作为工作标准器，综台示值误差检定采用3等量 块作为工作标准器。以下分别计算分析两种标准器的标准不确定度。激光干涉仪系统标准不确 定度分析如下： l 计算A类标准不确定度分量 I 1．1童竞干涉仪数字丑示示位量化谡薹估算的标准不囊定虞分量HL。) 激光干涉仪在测量中其数字显示最小显示位数为0．1Vm时．可认为激光干涉仪实际测量数值 为x，而实际上其显示数值在x—o．1，2一x+o．1，2区间内，为等概率均匀分布，覆盖因子k．=捂散 u(h)=(o．1／2)J行=o．D30m 2计算B类标准不确定度分量 2．1纛光干涉仪固有的系统误差标准不■定度分■_(L) x10。范围内。男外 根据中国计量院1998年10月检定结果，本仪器的长度溯量误差在±1．1 根据仪器使用说明书中所述，激光干涉仪在进行自动测量时，必须使用环境补偿单元F-￡10，其各 个传癌器(邳温度、气压、湿度和材料热膨胀系数传癌器)均应参与蔼量工作，此时激光干涉仪圃有 系统误差的极眼值为1．Ix10一。设该误差接近正态分布，覆釜因子k2=3，则标准不确定度为： “(L2)=1．1／3=0．3／am 2．2蠢光■干涉便校准时光路余弦误差标堆不■定虞分量_I厶) 激光器干涉仪在校准光路时将存在余弦误差(本仪器使用说明书未指明)，该误差为： J2 10“ 耳=南x oL 式中：d--出射光斑与返回光斑之阃不重合的距离。 通过仔细安装调整，在2m长度上，d一小于2mm(可分辨值为0．”mm)，则： ■ “(厶)=E=景×10。‘可忽略不计。 一139一 一一～_一i丁—— 一—————■r西疆i蓄羽F—了-～ } l } 3合成标准不确定度11。 l } 上述各项标准不确定度分量问互不相关，则合成标准不确定度为， l 虬=，再i兀i可可=饥而r丽5