湿度传感器发展方向邹议.pdfVIP

湿度传感器发展方向邹议 议 邹 向 方 展 发 器 感 传 度 湿 Evolutive Direction of Humidity Sensor 周焱1、2 胡氢1 Zhou YanHu Qing (1.平顶山工学院，平顶山 467001；2.武汉大学电气工程学院，武汉 430072) (１.Pingdingshan Institute of Technology，Pingdingshan467001; 430072) 摘 要:本文介绍了湿敏元件的特性，重点阐述集成湿度传感器、单片智能化湿度/温度传感器的性能特点及 产品分类，最后给出集成湿度传感器典型产品的技术指标。 关键词:集成湿度传感器;单片智能湿度/温度传感器;校准;补偿 中图分类号：TP242 文献标识码：A 文章编号： Abstract: ，expatiate 、 manufacture。 Keyword: Integrated Humidity Sensor； ； Alibration； Equalize 0 引言 1 湿敏元件的特性 在工农业生产、气象、环保、国防、科研、航 湿敏元件是最简单的湿度传感器。湿敏元件主 天等部门，经常需要对环境湿度进行测量及控制。 要有电阻式、电容式两大类。 但在常规的环境参数中，湿度是最难准确测量的一 1.1湿敏电阻 个参数。用干湿球湿度计或毛发湿度计来测量湿度 湿敏电阻的特点是在基片上覆盖一层用感湿材 的方法，早已无法满足现代科技发展的需要。这是 料制成的膜，当空气中的水蒸气吸附在感湿膜上时， 因为测量湿度要比测量温度复杂的多，温度是独立 元件的电阻率和电阻值都发生变化，利用这一特性 的被测量，而湿度却受其他因素 （大气压强、温度） 即可测量湿度。湿敏电阻的种类很多，例如金属氧 的影响。此外，湿度的标准也是一个难题。国外生 化物湿敏电阻、硅湿敏电阻、陶瓷湿敏电阻等。湿 产的湿度标定设备价格十分昂贵。 敏电阻的优点是灵敏度高，主要缺点是线性度和产 近年来，国内外在湿度传感器研发领域取得了 品的互换性差。 长足进步。湿敏传感器正从简单的湿敏元件向集成 1.2湿敏电容 化、智能化、多参数检测的方向迅速发展，为开发 湿敏电容一般是用高分子薄膜电容制成的，常 新一代湿度/温度测控系统创造了有利条件，也将 用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亚胺、酷酸醋酸 湿度测量技术提高到新的水平。 纤维等。当环境湿度发生改变时，湿敏电容的介电 111 科技广场 2006.1 常数发生变化，使其电容量也发生变化，其电容变 字电路或单片机、价格低等优点。 化量与相对湿度成正比。湿敏电容的主要优点是灵 2.3频率/温度输出式集成湿度传感器 敏度高、产品互换性好、响应速度快、湿度的滞后 典型产品为HTF3223型。它除具有HF3223的功 量小、便于制造、容易实现小型化和集成化，但其 能以外，还增加了温度信号输出端，利用负温度系 精度一般比湿