非球面零件光学检测技术研究.pdfVIP

维普资讯 2004年 8月 航空精密制造技术 Aug． 2004 第40卷 第4期 AVIAT10N PREClsloN MANUFACTURlNG TECHNoLoGY voL40 No．4 非球面零件光学检测技术研究术 程灏波 王英伟 (清华大学精仪系，北京 100084) [摘要] 针对非球面零件光学级检测技术进行广泛探讨，并针对课题研究中一抛物面镜实例，设计出实用型 Dall补偿器，经优化后，保证检测面形精度达到0．004h(h=632．8nm)。 [关键词] 非球面； 干涉法检测； Dall补偿器 [中图分类号]TH741．3 [文献标识码】A [文章编号]1003—5451(2004}04—0008—03 Research on Testing Technology forAspheric CHENG Hao-bo，WANG Ying-wei (DepartmentofPrecisionInstrumentandTechnology，TsinghuaUniversity，Beijing100084) A【bstract] Propermeasuringmethodsforopticalasphericinterferometryareintroduced． A practicalDallcompensatorwas designedfortheresearchingparabolicmirror．Thefigureerroracquiredislessthan0．004h (h=632．8nm) byoptimizingthe compensatorsconfiugre． K【eywords】 aspheric； interferometry；Dallcompensator 1 非球面的检测 降低检测的灵敏度来满足分辨非球面偏离量的要 求，因此精度相对零检验一般较低 ；高分辨率的 非球面的检测主要有干涉法、几何光线检测法 接收器件法是靠增加接收器件像元的数量来提高 和直接的面形轮廓法…。几何光线检测法又主要有 系统条纹的分辨本领 ，由于要求每幅图像的传输 哈特曼法、光栅法和刀 口法，哈特曼法和光栅法的 时间更长了，因此对机械的振动和空气的扰动就 主要优点是设备简单，但精度不高；刀口法简单 、直 更敏感，这样精度做到很高也困难；环状子孔径 观、灵敏度高但很难定量。轮廓测量法就是用测头 法是把一个面分成许多不同的环带，每次干涉仪 对整个被测面进行扫描，因此非常费事、费时，并且 都重新聚焦以降低某一环带的条纹密度 ，从而对 精度受测头、运动机构影响特别大，得到高精度检 其进行测量，最后通过算法再把他们拼合在一起 测结果非常困难。干涉法是高精度检测的一种重要 形成整个面的面形误差，这个方法需要精密位移 方法，它能提供精确的全视场表面的轮廓测试结 台和复杂的分析计算算法 ，由于随机误差(噪音)、 果，因此成为非球面高精度检测的主要方法。 环带半径和偏心的影响精度也不很高，环带多一 干涉法检测非球面有零检测和非零检测之分， 些时拼合就非常困难。 非零检测主要有高分辨率的接收器件法l21、环状子 在零检验中无像差点法只能用于某些二次非 孔径法l、欠采样法141、长波长法 、双波长全息法0。吸 球面的检测，对一般非球面而言，零检验都要用到 剪切干涉法l3l。其中欠采样法 、长波长法 、双波长 零光学元件(反射 、折射或