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电子显微部分总复习 什么是分辨率？提高显微镜分辨的途径有哪些？显微镜的放大倍数越大越好吗？ 分辨率又称分辨本领，是指显微镜能分辨的样品上两点间的最小距离。 瑞利公式：△r0=0.61λ/ Nsinα 根据瑞利公式，提高分辩率的途径有： (1)增大数值孔径(Nsinα) ，即增大介质折射率N和数值孔径α； (2)减小照明光源波长λ。 在以空气为介质的情况下，光学透镜系统的N.A1，采用油侵透镜， N.Amax=1.35。因此得：△rmin=λ/2 2. 什么是像差？解释其成因。 电磁透镜因存在缺陷，使得实际分辨率远小于理论分辨率，即存在像差。对电镜分辨本领起决定作用的像差包括几何像差和色差。 （1）几何像差包括球差和像散，它是由于透镜磁场几何形状上的缺陷而造成的； （2）色差是由于电子波的波长（或能量）发生一定幅度的波动而造成的。 （1）球差 电子波经过透镜成像时，离开透镜主轴较远的电子(远轴电子)比主轴附近的电子(近轴电子)被折射程度要大。当物点通过透镜成像时，电子就不会聚到同一焦点上，从而形成了一个散焦斑，由此引起的像差称为球差。 （2）像散 像差是由于电磁透镜磁场的旋转对称性被破坏而引起的。电磁透镜磁场不对称，可能是由于磁透镜极靴被污染、光镧被污染，或极靴加工的机械不对称性，或极靴材料各向磁导率差异引起（由制造精度引起）。 （3）色差 色差是由于入射电子波长（或能量）不同造成的。引起电子束能量变化的主要有两个原因： （1）一是电子的加速电压不稳定； （2）二是电子束照射到试样时，和试样相互作用，一部分电子发生非弹性散射，致使电子的能量发生变化。 3. 电磁透镜与光学透镜有何显著不同？解释电磁透镜的聚焦原理。 通电短线圈产生对称不均匀磁场，可以使电子束聚焦，因此通电短线圈制成的可使电子束聚焦成像的装置叫电磁透镜。 电磁透镜焦距 电磁透镜焦距近似公式f≈K(Ur/(IN)2 其中：K为常数 Ur为经相对论矫正的电子加速电压 （IN）为电磁透镜激磁安匝数 改变激磁电流，电磁透镜的焦距将发生相应变化。因此，电磁透镜是一种变焦距或变倍率的会聚透镜，这正是它有别于光学透镜的一个显著特点。 电磁透镜聚焦原理 4. 光学显微镜、透射电镜和扫描电镜各有什么特点 电镜与光镜的比较 项目 光学显微镜 电子显微镜 光源 透镜 分辨率 放大倍数 图象颜色 观察介质 样品制作 可见光 玻璃透镜 200nm 1000倍 彩色 空气 简便 电子束 电磁透镜 0.2nm 100万倍 黑白 真空 复杂 5. 扫描电镜样品的物理信号有哪些？二次电子、背散射电子和特征X射线各有什么特点及主要用途？ （1） 二次电子 二次电子（ SE ， Secondary electron）：是被入射电子（又称为一次电子）轰击出来的离开样品表面的样品的核外电子 。 特点： ①能量比较低，一般小于50eV； ②来自表层5~10nm深度； ③它对样品的表面形貌十分敏感，因此能非常有效地显示样品的表面形貌。 （2） 背散射电子 背散射电子（ BE ，Backscattered electron）:被固体样品中原子反射回来的一部分入射电子，又叫做反射电子。 特点： ①能量较大，与入射电子能量接近； ②来自样品表面几十~几百纳米的深度范围； ③产额伴随着原子序数增大而增多，可以用来显示原子序数衬度，定性地用作成份分析。 （3） 特征X 射线 特征X 射线：是原子的内层电子受到激发之后，在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电磁波辐射。特征X射线来自样品几百nm~几μm的深度范围。 通过检测样品发出的特征X 射线的能量或波长即可测定样品中的元素成分；测量X射线的强度即可计算元素的含量，从而进行样品表面元素定性、定量分析，该方法称为能谱法（EDS）和波谱法（WDS）。 6. 电子显微镜电子枪有几种主要类型，各有什么特点？ 电子枪是发射电子束的装置，为电子显微镜提供电子光源。电子枪是电子显微镜的关键部件，对电子显微镜的分辨率起决定性作用并决定电镜的档次。有三种类型电子枪，分别是钨丝电子枪、LaB6电子枪和场发射电子枪。 （1） 钨丝电子枪 钨丝电子枪由钨阴极、栅极和阳极组成。阴极是一个弯成V形的金属钨丝，通过电流加热至2800K，尖端发射电子束。 钨丝电子枪价格低，易于获得