微米与纳米级加工技术_朱荻.pdfVIP

专稿 微 米 与 纳 米 级 加 工 技 术 Micro and Nano Machining Technology 南京航空航天大学机电学院　　朱 　荻 　　[ 摘要] 　论述了微细刻蚀 、L I GA 、微细特种加工 、 成所需要的微细结构或器件 ,这种方式可称为 自上而 ( ) 纳米切削和基于扫描探针技术等微米 、纳米级加工技 下 Topdown 的方式 , 束流加工 、切削加工 、放 电加 术的原理 、特点和发展 。 工 、刻蚀等许多方法都属于这一类 。随着研究的深入 关键词 : 微细加工 　纳米加工 　精密 开展和相关科学技术的进步 ,这类方法取得了很大进 [ ABSTRACT] 　Principles , characteristics and de 展 ,微细加工能力不断提高 。此外 ,所谓的自下而上或 ( ) velop ment s of micro machining and nanofabrication are 由小到大 Bottomup 的加工方法近些年受到关注 ,成 summarized , including micro etching , L I GA , micro 为探索热点 。这类方法通过原子 、分子的移动 、搬迁 、 EDM and ECM , ult rap recision machining and nano 重组来构成纳米尺度的微细结构 ,基于扫描隧道显微 ( ) fabrication based on SPM . 镜 STM 的原子搬移方法属于此类 。 Key words : Micro machining 　Nano fabrication 　 1 　自上而下的微细加工技术 Precision 1. 1 　硅材料加工技术和 L IGA 技术 微细加工是当今制造业最为活跃的研究方 向之 采用光刻和化学刻蚀方法在硅基体材料上得到微 一 ,它在许多领域有着重要和广阔的应用前景 ,在国防 小的沟槽 、筋板 、孔洞等微细结构 ,其工艺过程主要包 工业的作用尤为重要 。微型化 、精确化 、轻量化是航空 括 :在硅材料上涂覆光刻胶 ,利用电子束等高分辨率能 航天产品的主要发展特征 ,这些都与微细加工技术密 量束进行曝光 ,显影后获得微细图形 ,再刻蚀出微型结 切相关 。微型飞机 、微型发动机 、微型卫星的研制 ,航 构 。在该工艺中采用牺牲层技术还可以制作出活动机 空机载设备 、惯性导航系统性能的提高都不同程度地 构 。这项技术 目前可获得亚微米级微细结构 ,是微机 ( ) 取决于微细加工技术的水平 。 电系统 M EM S 重要的支撑技术 。 微细加工任务不是由某一项技术独 自完成的 ,而 L I GA (Lit hograp hie Galvanoformung Abformung) 是由许多方法和技术所共同承担 ,这些方法各具所长 , 技术由德国 Karlsruhe 核能研究中心提出 ,它是由硅刻