压电陶瓷振动振幅的测量.pdfVIP

维普资讯 2008年第 3期 声学与电子工程 总第 91期 压电陶瓷振动振幅的测量 盖学周 王永晔 俞锁龙 王世全 (第七一五研究所，杭州，310012) 摘要 采用激光多谱勒法测量了P4、P8和 P5压电陶瓷元件的振动振幅，进而确定压电陶瓷振幅最大 时的频率，并且与导纳电桥法测得的频率进行了比较。实验证实采用激光多普勒法可以准确测量压电陶瓷 的振动振幅和谐振频率，并且机械品质因数Q 越大，测得的谐振频率越准确 ，这为评价压电陶瓷元件的质 量提供了一种新的手段。 关键词 激光多普勒； 压电陶瓷；振动振幅；机械品质因数 极化后的压 电陶瓷元件在交变 电场作用下会 生动态形变 。 产生机械振动，即电能转变成机械能。目前压电陶 瓷的发展极为迅速 ，已经深入到电子技术、光学、 2测量方法 超声、精密机械、引燃引爆等各个领域I卜引。压电陶 采用德 国 PolytecCLV-M060型激光多普勒测 瓷性能通常是弱场下测量，随着压 电陶瓷的应用越 振仪测量压 电陶瓷的动态形变，它的测速范围为 来越广泛，迫切需要 了解其动态位移特性 。1995年 2~50mm／s／V (光电压)，最小分辨率为0．2gm／s， 俞锁龙等人利用贝塞尔函数高频激光测振仪对压 仪器的频率响应范围为 0N350kHz，测量系统如图 电陶瓷的动态位移响应进行测量 3【】，获得了满意的 1所示 。 结果，但是贝塞尔函数高频激光测振仪容易受光强 度、空气湍流、测量距离等影响，对测量条件要求 较高。激光多普勒测振仪利用光干涉和多普勒效应 产生频差的原理来进行位移测量，受外界影响较 小，在光强度衰减 90％时仍可得到满意的信号，因 而广泛应用于生产和实验的各种振动测量场合。本 文采用激光多普勒测振仪测量 了几种不同材料和 不同尺寸大小的压 电元件的振动特性，这对于了解 压电材料特性差异具有重要指导意义。 1压 电陶瓷动态形变产生机理 图 1激光多普勒测振系统不意 图 极化后的压 电陶瓷元件具有排列整齐的电畴 图1中，S为分光镜，0为物光，e为参考光。 结构。当外加电场时，由于电场和 电偶极子的相互 O光从被测压 电体表面反射后经 分光镜再次与 e 作用，引起元件内部电畴排列及原胞结构的变化， 光相遇，并产生干涉，此时合成光的频率受到了调 制，调制频率为 ．，它与压电体表面振动速度v相 从而导致元件宏观形状上的变化 。在外 电场作用 下，应变 与电场 E之间的关系一般可表示为： 关，fd=2 ，考虑到压 电体振动时有 向前和向后 (膨胀和收缩)两种不同情况，故在参考光路再加 = 施 +ME (1) 入交变调制信号．，经S分光镜反射后，与被调制 式中第一项为逆压电效应产生的应变，主要与极化 的物光合成进入光 电检测器，因此进入光电检测器 强度有关，d为压 电应变系数；第二项为电致伸缩 的合成光实际受到 ± = ±z 的双重调 效应产生的应变，M为电致伸缩系数 。电致伸缩效 制，式中符号取决于压电体运动的方向。通过解调， 应为二次效应，所产生的形变非常小，通常不易测 信