微机电系统的现状与展望.pdfVIP

斧5 2008年 第27卷 第2期 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 综 述 与 一评 ～ 一论 一 微机 电系统的现状与展望 陆敬予，张飞虎，张 勇 (哈尔滨工业大学 机 电工程学院，黑龙江 哈尔滨 150001) 摘 要：在过去20多年中，微机电系统 (MEMS)已经从早期的技术开发、设备探索和实验室研究的阶段 发展到当前的实际应用阶段 ，并逐渐扩展到许多新的研究和探索领域，MEMS已经成为21世纪最具潜力 的研究领域之一。对 MEMS进行了简要的介绍，包括 MEMS应用 ，MEMS的市场情况，以及 3种主要 的 MEMS微制造技术 ，即体微制造 、面微制造和LIGA技术。最后，提出了MEMS将来研究和发展的趋势。 关键词：微机电系统 ；微细加工；展望 中图分类号：TN301 文献标识码：A 文章编号：1000--9787(2008)02--0001—03 CurrentstatusandfutureprospectofM EM S LUJing—yu，ZHANG Fei—hu，ZHANG Yong (SchoolofMechatronicsEngineering，HarbinInstituteofTechnology，Harbin150001，China) Abstract：Duringthelasttwodecades，microelectromechaniealsystems(MEMS)hasadvancedfrom theearly stageoftechnologydevelopment，deviceexploration，andlaboratoryresearch，tothestageofpracticalapplications， andisexpandingtomanynew areasofexplorationandresearch．MEMStechnoloyg hasbecomeoneofthemost promisingfieldsinthe21stcentury ．A tutorialreview ofMEMS ispresented，includingcurrentand potential applicationsofMEMS，thestateoftheMEMSmarket，aswellasthreemajormicromachiningplo‘cessesemployedto MEMSdevices，namelybulk micromachining，surface micromachiningand LIGA technoloyg ．Finally，theihture trendsofMEMSresearchanddevelopmentaresuggested． Keywords：microelectromechamicalsystems(MEMS)；micromachining；prospect 0 引 言 MEMS本质上是跨学科的，它利用先进的设计理论 、工 微机 电系统 (microelectromechanicalsystems，MEMS)是 程和制造技术，吸收了一系列技术的优点，包括集成电路制 一 种具有毫米级尺寸和微米级分辨力的微细集成设备或系 造技术、机械工程、材料学 、电机工程、化学化工，生物技术、 统 J，它通过微细加工技术在硅片或者其他基体上集成了 流体力学 、光学 、仪表和封装技术等。应该指出，MEMS技 机械零件、传感器 、执行器和电子设备。丰田公司第一辆轿 术的重要性不是在于其产品的尺寸，而是在于它所利用的 车的微细版 j．其尺寸只有原车的 1／1000