热激励微悬臂梁谐振器品质因数研究.pdfVIP

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2017-08-12 发布于重庆
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热激励微悬臂梁谐振器品质因数研究.pdf

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热激励微悬臂梁谐振器品质因数研究.pdf

第36卷第4期西安交通大学学报 V01．36№4 2002牟4月 OFXI’AN Apr．2002 JOURNALJIA0，rONGUNIVERSITY 文章编号：0253--987X(2002)04-0377-04 热激励微悬臂梁谐振器品质因数研究韩建强，朱长纯，刘君华，张鲲 (西安交通大学电子与信息工程学院，710049．西安) 捕要：基于对影响微悬臂粱谐振器品质因数的内摩擦、支座损耗、氧化层(或镀层)损耗和分子阻尼、空气阻尼和压膜阻尼等阻尼机制的理论分析，计算出不计成型槽阻尼时微粱在高真空、分子阻尼或粘性空气中谐振的品质因数，提出较小的成型槽宽度可降低在粘·陆空气中谐振的微悬霄莱谐振器的品质因数．制作了成型槽宽度不等的电热激励一压教电阻检测硅一二氧化硅双层蛄构微悬臂粱谐振器，刹试了其在粘性空气中的品质因数．实验数据表明：对成型槽宽度大于梁宽度的擞悬臂粱谐振嚣，测量值与计算值符合较好，反之具有较大误差．关■词：擞悬臂莱}谐振器；品质因素#热激励中圈分类号；TN305文献标识码：A Factorof Excited Resonators MicromechanicalCantilever Quality Thermally Han Kun Jianqiang，ZhuChangchun，LiuJunhua，Zhang (Schoolof 710049．Claim) Electrorfics“lnfo衄aⅡ帆Engineering．Xi’BnJiaotongUniv啪ity．XJ’iin Abstract：BasedOnthetheoreticalofvarious mechanism，suchasinternal analysis damoing loss，sillica(or friction，support coating)loss，moleculardamping，airflowdamping，squeeze SOon，the factorofthebeam in vacuulTi，molecule damping，andquality vibratinghigh damping air is orviscousiscalculatedmolded thatFJ且lrrowmolded ignored groovesdamping．Itproposed can factorofthebeam inviscousair．The factorofbeam grooves quality degrade vibrating quality in air is viscouswithdifferentwidthofmoMed achieved vibrating grooves resultsshoWthat iscoincidentwiththecalcul