微尺寸探针测量技术.pdfVIP

第 卷第 期增刊 仪 器 仪 表 学 报 年 月 yy v y$$ . 微尺寸探针测量技术 孙 涛 阎永达 王洪祥 董 申 哈尔滨工业大学精密工程研究所 哈尔滨 ! #$$$% 摘要 原子力微探针具有极高的垂直方向位置灵敏度 其针尖半径可达几十纳米量级 这就为微纳米尺度的三维坐标测量提供了 可能性 本文基于原子力微探针瞄准原理并结合二维微位移系统和高精度电容传感器 研制了微尺寸测量系统 ’ ’ 关键词 原子力微探针 坐标测量 电容传感器 : ()*+,-).)/0