2010 准分子激光技术发展.pdfVIP

第 卷 第 期 中 国 激 光 ， ３７ ９ Ｖｏｌ．３７Ｎｏ．９ 　 　 　 　 年 月 ， ２０１０ ９ 犛犲狋犲犿犫犲狉 ２０１０ 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犔犃犛犈犚犛 狆 文章编号： （ ） ０２５８７０２５２０１００９２２５３１８ 　　 准分子激光技术发展 （邀请论文） 余吟山 游利兵 梁 勖 方晓东 　 　 　 　 （中国科学院安徽光学精密机械研究所，安徽 合肥 ２３００３１） 摘要 介绍了准分子的基本能级结构、光谱特性及产生激光的激励方式。简要回顾了准分子激光及实用准分子器 　 件的发展历史。着重阐述了放电激励准分子器件的相关技术，如大能量与大功率技术、高重复频率技术、光束控制 技术和激光电源技术等。分析了准分子激光光刻应用及近期技术发展，介绍了准分子激光在工业、医疗和生产领 域的应用。 关键词 激光器；准分子激光技术；放电激励；光刻 　 中图分类号 文献标识码 ： ／ ＴＮ２４８．２ Ａ 犱狅犻１０．３７８８犆犑２２５３ 　 　　　 　 　　　 犘狉狅狉犲狊狊狅犳犈狓犮犻犿犲狉犔犪狊犲狉狊犜犲犮犺狀狅犾狅 犵 犵狔 （ ） 犐狀狏犻狋犲犱犘犪犲狉 狆 犢狌犢犻狀狊犺犪狀 犢狅狌犔犻犫犻狀 犔犻犪狀 犡狌 犉犪狀 犡犻犪狅犱狅狀 　 犵　 犵 　 犵 犵 （ ， ， ， ， ） 犃狀犺狌犻犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅犗狋犻犮狊犪狀犱犉犻狀犲犕犲犮犺犪狀犻犮狊 犆犺犻狀犲狊犲犃犮犪犱犲犿 狅犛犮犻犲狀犮犲狊 犎犲犲犻 犃狀犺狌犻２３００３１ 犆犺犻狀犪 犳 狆 狔 犳 犳 犃犫狊狋狉犪犮狋 犜犺犲犳狌狀犱犪犿犲狀狋犪犾犮犺犪狉犪犮狋犲狉犻狊狋犻犮狊狅犳犲狓犮犻犿犲狉犪狉犲犻狀狋狉狅犱狌犮犲犱犫狉犻犲犳犾 犪狀犱狋犺犲犺犻狊狋狅狉犻犮犪犾犱犲狏犲犾狅犿犲狀狋狅犳 　 狔 狆 犲狓犮犻犿犲狉犾犪狊犲狉狊犻狊狉犲狏犻犲狑犲犱．犜犺犲 狉狅狉犲狊狊狅犳犲狓犮犻犿犲狉狋犲犮犺狀狅犾狅 犲狊犲犮犻犪犾犾犳狅狉犱犻狊犮犺犪狉犲 狌犿 犲犱犲狓犮犻犿犲狉犾犪狊犲狉狊犻狊 狆 犵 犵狔 狆 狔 犵 狆