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大流量压阻式流量传感器的研制 1 2 1 王小保 , 钱　劲 , 张大成 ( 1 北京大学微电子学研究院 , 北京 100871 ; 2 中国科学院力学所 , 北京 100871) Email :wxb @ime. pku. edu. cn 摘要 : 根据流体力学差压原理 ,采用硅微机械加工手段设计制作了微挡板结构的压阻式流量传感 器。测试结果表明 ,该传感器具有测量 0. 1～10L/ min 的气体流量的能力。 关键词 : 差压 ; 流量传感器 ; 微机械加工 ; 压敏电阻 中图分类号: TP212 　文献标识码 : A 　文章编号 : (2003) 07/ Research on a piezoresistive mass flow sensor 1 2 1 WAN G Xiaobao , Q IAN Jin , ZHAN G Dacheng ( 1. Instit ute of Microelect ronics , Peki ng U niversity , Beiji n g 100871 , Chi na ; ) 2 . Instit ute of Mechanics , Chi nese Academy of Sciences , Beiji n g 100871 , Chi na Abstract : Micromachined piezoresistive flow sensors that operated in differential pressure modes have been designed , fabricated and tested. The testing result shows that the measuring flow rates range from 0. 1 to 10L/ min for gas. Key words : differential pressure ;flow sensor ;micromachining ;piezoresistivit y 气体流量 ,具有较高的精度、重复性和抗过冲能力。 1 　引　言 2 　设　计 随着微机械加工方法的逐步成熟 ,微机械系统 尤其是各种微型传感器开始在工业和日常生活中得 流体力学中有两个著名的方程 , 即连续性方程 到了广泛的应用。在工作原理上 , 目前常用的微机 和伯努力方程 [1～4 ] ρν ρν ( ) 械流量计有热线式和机械式 。前者通常采用 1 1 A 1 = 2 2 A 2 1 加热元件改变流体的温度场 ,然后利用热敏元件检