基于MEMS加速度传感器的数字倾角仪设计_沙承贤.pdfVIP

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2017-08-12 发布于重庆
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基于MEMS加速度传感器的数字倾角仪设计_沙承贤.pdf

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(Transducer andM icrosystem Technologies) 2010 29 6 134 MEMS* 沙承贤, 李杰, 翟成瑞, 王博, 胡丽丽 ( , 030051) : MEM S, , L D: ? 0. 2b, , : ; MEM S; ; : TP217. 1 : A : 1000) 9787( 2010) 06) 0134) 03 Design of digital inclinom eter based on MEM S * acceleration sensor SHA heng-xian, LI Jie, ZHAI heng-ru,i WANG Bo, HU L-i li ( N ationa lK ey L aboratory of E lectron ic M easurem ent T echnology N orth U n iversity of Ch ina T aiyuan 03005 1 Ch ina) A bstract: D igital inclinometer is designed, using MEM S acceleration sensor. Data linearization, temperature and stable characteristics of electricity compensation are realized using M U. Inclination angle can be displayed by L D or P . The expermi ent show s that angle measurement precision can reach ? 0. 2b and it has good stability and high performance-to-price ratio. It ismore flexible for use. K ey w ords: inclinometer; MEMS acceleration sensor; temperature compensation; stable characteristics of electricity compensation 0 , MEM S , , , 1, , , MEM S , 8051F021, L D USB A x =g n cosB , ( 1) , , A x x ; g n ; B, B , , - 1 B= cos (A x /g n) . ( 2) , , , , , 1 , [ ~1 3] , , ,