柱状薄膜型压电微电机的有限元模拟.pdfVIP

_______________________________________________________________________________ 柱状薄膜型压电微电机的有限元模拟 王四林 邵可然 （华中科技大学，新型电机国家重点专业实验室，武汉 430074） Finite Element Simulation of Cylindrical Piezoelectric thin film Micromotor S.L. WANG, K. R. SHAO （State Specialized Laboratory of New Type of Electrical Machinery, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China ） 摘 要: 通过对一种柱状薄膜型压电 动、热气驱动等等。柱状薄膜型压电微电机 微电机致动机理的研究，运用有限元模拟， 是一种压电驱动型微电机，最早由日本东京 进行模态分析。通过对定子固有频率以及机 大学研制出。作为一种新型的压电驱动微致 构尺寸的计算，为类似研究探讨提供一种行 动器，柱状薄膜型压电微电机具有响应快、 之有用的方法 力矩大、易操作等显著优势，拥有广阔的前 关键词: 压电薄膜型微电机；有限元； 景。过去的文献对压电微电机的介绍主要集 固有频率；模态分析；ANSYS 中在陶瓷型，而对薄膜型很少涉及。这里作 Abstract: Through the researches on one 者拟通过有限元，对薄膜型压电微电机的机 kind of Cylindrical Piezoelectric thin film Mi- 构、固有频率等进行模拟分析。 cromotor mechanisms, Finite Element Simula- tion and Modal Analysis are carried out in this 2 柱状薄膜型压电微电机的结 paper. And also this paper puts forward a usef- ul method to some similar researches, through 构和运行机理 the calculations of Resonance Frequency of stators and size of machines. 2.1 柱状微电机的结构 Keywords: Piezoelectric thin film Micr- 这种柱状微电机由一个柱状定子换能 omotor; Finite Element; Resonance Frequenc- 器和两个联动的具有一定预载力的转子组 y ；Modal Analysis; ANSYS 成。定子换能器为柱状，由 Titanium 管及 Titanium 管表面沉积的 PZT 膜构成， Titanium 管外径为2.4mm ，内径为1.9mm， 1 引 言 长度10mm，如图1 所示。两次沉积得到的 微机电系统(MicroElectro Mechanical PZT 薄膜由水热法制备，厚约9 μm 。薄膜 Systems, MEMS) 是指用微机械加工技术制 的极化方向沿厚度方向，即从 P