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新型控制方式在超薄片双面研磨抛光加工中的应_省略_超薄蓝宝石片_蓝玻璃_石英片的.pdf
29 20 甘肃科技 Vol. 29 No. 20
第 卷 第 期
2013 10 Oct. 2013
年 月 Gansu Science and Technology
新型控制方式在超薄片双面研磨抛光加工中的应用
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针对超薄蓝宝石片 蓝玻璃 石英片的加工解决方案
梁 春
( ， 730020)
兰州瑞德设备制造有限公司 甘肃兰州
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摘 要 首先简单介绍了双面研磨 抛光加工的机理 随后针对超薄硬脆材料的双面加工对设备所提出的需求 从上
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下盘的面形控制 压力精度控制和速度同步性的控制等方面分别阐述了对超薄片加工的不同影响 及相应的解决办
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法和思路 最后提到 双面研磨抛光设备要想获得理想的加工精度 成熟的工艺也是必要的保证
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关键词 超薄片 面形控制 压力控制精度 同步控制 工艺
中图分类号:V227
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双面研磨 抛光设备主要用于平行平面硬脆材 光盘间做行星运动 然后加入相宜的液体研磨料或
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料的双面研磨抛光加工 利用游轮片将工件置于双 抛光液 使工件和研磨 抛光盘之间产生相对运动
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面研磨 抛光机的上下磨盘之间 游轮片分别和内齿 结合两运动表面之间的研磨液或抛光液的作用 对
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圈 太阳轮啮合 二者采用不同的转速带动游星轮进 工件表面形成磨削或抛光加工 使工件获得极高的
行公转和自转， / 平坦度和表面光洁度。 1 。
工件在游轮的带动下在上下研磨 抛 如图 所示
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图 双面研磨 抛光设备用于抛光加工
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近年来 随着对产品性能的要求越来越高 对器
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， 双面研磨 抛光加工机理分析
件的要求也越来越高 对制作器件的原材料的要求
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越来越高 如晶体振荡片采用的石英晶体片 厚度越
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