LTCC电容π型等效电路模型的提取与验证.pdfVIP

LTCC电容7c型等效电路模型的提取与验证 陈锡丹，刘颖力，李元勋 (电子科技大学 微电子与固体电子学院，四川成都 610054) 摘 要：对 LTCC 内埋置 MIM 电容的传统 型等效电路进行了研究，对其等效电路模型的参数进行了提 取，详细推导了该模型中元件的参数估算公式，并用二层LTCC电容进行仿真验证，可以看出建立的三维HFSS 模型在第一谐振频率点内与电路仿真结果有很好的一致性，但是随着频率的增高，片式器件高频寄生效应就会 更加明显，因此需要提取更加准确的高频等效电路。 关键词：LTCC电容；71；型等效电路；仿真验证；谐振频率点 中图分类号：TM53；TM131．4 文献标识码：B 文章编号：1001．3830(2008)05．0045．03 TheResearchon7c-equivalentCircuitofLTCC Capacitor CHENXi—dan，LIUYing—li，LIYuan-xun SchoolofMicroelectronicsandSolidElectronics,UniversityofElectronic ScienceandTechnology,Chengdu610054,China Abstract：The -equivalentcircuitmodeloflaminatedMIM LTCCcapacitorisdeducedinthispaper,andthe praamet~softheequivalentcircuitareextractedindetail．Laminated2-1ayerscapacitorisutilizedtoverifyhtemode1． Itcanbeseentherfequencyresponsesbetween 一equivalentcircuitand3D HFSSmodelgetagoodagreementuptothe fundamenatlself-resonancerfequency(SRF)．ItcallbeobservedthatRFparasiticeffectismoreobviouswhen increasingrfequencyuptoitssecondaryresonantrfequenc~ SOmoreaccurateequivalentcircuitneedstobeextracted． Keywords：LTCCcapacitor； Ⅱ一equivalentcircuit； simulationandverification； self-resonancerfequency (SRF) 1引言 射参数为依据来判断等效模型是否合理。本文采用 的等效 电路 由 、 、C元件组成，等效 电路中的 随着通信技术的发展，系统的小型化与便携化 与电路的功率消耗有关；等效电路中的 与磁场在 要求 日益提高，为了适应这种需要，单片微波集成 电路中的变化有关；等效电路中的 C与电场在电 电路(MMIC)的设计与应用也 日渐频繁 J【J，用低温共 路中的变化有关，此模型原则上可准确至元件本身 烧陶瓷 fLTCC)技术可以制作高品质因子的嵌入式 的第一个 自谐振频率点pJ。 电感和电容，使得射频微波模块功率消耗降低，具 有优 良的高频性能和高Q值，因此片式电容亦成为 2等效电路模型 了RF集成电路中不可或缺的一种无源元件。随着 LTCC电容的 型等效电