一种基于飞秒光频梳频域干涉的绝对测距方法.pdfVIP

第 35卷 第 11期 仪 器 仪 表 学 报 V0l1．35NO．I1 2014年 11月 ChineseJouma1ofScientificInstrument NOV．2014 一 种基于飞秒光频梳频域干涉的绝对测距方法木 安慰宁，张福民，吴翰钟，曲兴华 (天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津 300072) 摘 要：飞秒光频梳(光梳)在激光测距领域有着重要应用。本文研究基于飞秒光频梳的频域干涉绝对测距技术，提出了 一 种新的基于傅里叶变换的频域峰值间隔测距方法，分析了测距原理并进行 了多组绝对测距实验。实验结果表 明通过频 域峰值间隔测距可以实现绝对测距，被测距离 1．2mm时测距精度最高，最大误差一12am。在光谱的分析处理上，提出一 种基于复小波变换的相位斜率测距的方法。结果表明相位斜率测距法可以实现距离信息的提取，在被测距离 1．2mm时测 距精度最高，最大误差一16am。最后与经典傅里叶分析法进行 了比较，比较结果表明频域峰值间隔测距法得到的实验结 果精度好于相位斜率测距法和傅里叶分析法。 关键词：飞秒光频梳；绝对测距；频域干涉；光谱 中图分类号：TH741；TB921；TN249 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：460．4035 Absolutedistancemeasurementmethodbasedonfrequency-domaininterference usingafemtosecondopticalfrequencycomb AnWeining，ZhangFumin，WuHanzhong，QuXinghua (StateKeyLaboratoryofPrecisionMeasurementTechnologyandInstruments，TianjinUniversity，Tianjin300072，China1 Abstract：Femtosecondopticalrfequencycombhasbeenwidelyappliedinbothbasicscienceandindustricalmanufacturing．The principleofrfequency-domain interferenceusingrfequency comb isanalyzedforabsolutedistancemeasurement．A rfequency domainpeak—to—peakintervalmeasurementmethodbasedonFouriertransform isproposed．Experimentalresultsshow thatthe maximum deviationis一12am atthedistanceofabout1．2mm．Anapproachoftheslopeofthespectralphasebasedonthecomplex wavelettransform isdemonstratedofrdistancemetrology，andtheexperimentalresultsshow thatthemaximum deviationis一16nm atthedistanceofabout1．2mm．TheabovetwomethodsarecomparedwiththemethodbasedonclassicalFouriertransfomr ．The comparisonresultsshow thattherfequency—domainpeak—to-peakintervalcanachieveahigherprecision，andthetechniquebased onthecomplexwavelettransoftincanimprovetheaccuracyofFouriertransofnn． Keywords：femtosecondopticalfrequency；absolutedistance t；rfequencydomaininterference；spectrum