基于SEM纳米切削装置的设计与实验.pdfVIP

第48卷 第 1期 天津大学学报 (自然科学与工程技术版) Vb1．48 NO．1 2015年 1月 JournalofTianjinUniversity(ScienceandTechnology) Jan．2O15 D0I：10．11784／tdxbz201404OO1 基于 SEM 纳米切削装置的设计与实验 刘 冰 1,2 徐宗伟 ，兀 伟 2 王志强 (1．天津大学机械工程学院，天津 300072； 2．天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室，天津 300072) 摘 要：针对 目前纳米切削机理研究方法中切削过程无法在线高分辨力观测等瓶颈问题，设计并搭建了一套集成于 扫描电子显微镜高真空条件下的纳米切削实验装置，开展 了该实验装置的运动精度分析、典型单晶材料纳米切削在 线观测等研究．该装置在切削及切深方向均能实现 7岫1的位移输出，闭环分辨力为 0．6nm．通过白光干涉仪对纳 米切削台阶加工结果的测量，分析装置运动精度，实现了切深分别为 59．3DATI、l15．1am和 161．2nm 的台阶结构加 工．利用直线刃金刚石刀具对单晶铜和单晶硅材料进行了纳米切削实验 ，实验结果表明所研制的纳米切削装置能够 实现纳米尺度材料去除的在线高分辨力观测． 关键词：扫描电子显微镜；纳米切削；在线观测；运动精度 中图分类号：TH122；TH69；TH162．1 文献标志码：A 文章编号：0493．2137(2015)01-0056—06 DesignandExperimentonSEM BasedNanometricCuttingDevice LiuBing一，XuZongwei，W uWei2 WangZhiqiang ， (1．SchoolofMechanicalEngineering，TianjinUniversity，Tianjin300072，China； 2．StateKeyLaboratoryofPrecisionMeasuringTechnology Instruments． TianjinUniversiyt，Tianjin300072，China) Abstract：Tosolvetheproblem thatonlinehigh-resolutionobservationfailedtoberealizedincuttingprocesswiththe currentnanometriccuttingmechanism ，ananometriccuttingdeviceunderhighvacuum conditionbasedonSEM was designedandestablished．Motionaccuracyanalysisofthedevicewasca~iedoutandnanometriccuttingoftypical singlecrystalmaterialswithonlineobservationwasresearched．Theproposeddevicecanrealizedisplacementoutput intherangeof7lam withclosed-loopresolutionof0．6nrninbothcuttingdirectionanddepthdirection．Themotion accuracyofthedevicewasmeasuredbywhitelightinterferometer．Stepstructureswithdifferentcuttingdepthswere machined a