纳米ZnO气敏传感器研究进展.pdfVIP

· 132 · 材料导报A：综述篇 2015年 1月(上)第29卷第 1期 纳米 Zno气敏传感器研究进展 宣天美 ，尹桂林 ，葛美英。，林 琳 ，何丹农 (1 上海交通大学材料科学与工程学院，上海 200240；2 纳米技术及应用国家工程研究中心，上海 200241) 摘要 半导体金属氧化物气敏传感器被广泛应用于有毒性气体、可燃性气体等的检测。Zn0是一种重要的半 导体气敏材料，特别是纳米znO，由于其粒子尺寸小，比表面积大，成为被广泛研究的气敏响应材料之一。简要介绍 了纳米ZnO气敏传感器的气敏机理、主要特性，综述 了通过新型纳米形貌、结构制备 以及元素掺杂改性提升纳米 Zn0气敏性能等方面的研究进展 ，并进一步指 出了纳米 znO气敏传感器研究中存在的问题和未来的研究方向。 关键词 氧化锌 掺杂 气敏传感器 中图分类号：TP212 文献标识码：A DOI：10．11896／j．issru1005～023X 2015．O1．023