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微悬臂梁在化学及生物传感器中的应用进展.pdf
第34卷第5期 微电子学 V01．34，№5
2004年10月 』lffc，OPfPct，Dnics Oct．2004
文章编号：1004—3365(2004)05—0493—04
微悬臂梁在化学及生物传感器中的应用进展
王军军，谢海芬，周 嘉，黄宜平
(复旦大学微电子系，上海200433)
摘要： 微悬臂梁结构传感器以其低成本、小体积、高性能在当今传感器研究中愈来愈受到重视。
文章概述了以微悬臂梁为主要结构的传感器在化学及生物探测中的应用进展，介绍了几种可能用
于化学和生物探测的高性能微悬臂梁传感器。
关键词：MEMS；微悬臂梁；化学传感器；生物传感器
中图分类号：TP212 文献标识码：A
ofMicrocantilever—BasedChemicaland Sensors
Development Biological
WANG Hai—fen，ZHOU
Jun—jun，XIE Jia，HUANG
Yi—ping
Microelectronics，Fudan 200433，P．R．China)
(Dept．of University，Shanghai
Abstract：Themicrocantileversensor，duetoitslow—cost，smallsizeand moreand
performance。attracts
high
moreattentionintheresearchand ofsensorsinrecent ofchemicalsensors
development years．Thedevelopment
andbiosensorsbasedonthemicrocantileverstructureisreviewedinthe mi—
paper．Also，several
high—performance
crocantileversensorsare
described，whichhave inchemicaland
might potentialapplications biologicalsensing．
words： sensor
Key MEMS；Microcantilever；Chemical
sensor；Biological
EEACC：
2560B
敏度。近年来，PZT压电材料的谐振式微悬臂梁传
1 引 言 感器因其具有更高的灵敏度而成为研究热点；同时，
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