超快脉冲激光辐照金属薄膜热-力效应的模拟研究.pdfVIP

第 37卷第 11期 光 子 学 报 Vo1．37No．1l 2008年 1i月 ACTA PH0TONICA SINICA November2008 超快脉冲激光辐照金属薄膜热～力效应的模拟研究 王德飞，齐文宗，郭春凤 (四川大学 电子信息学院，成都 610064) { 摘 要：基于双曲双温两步热传导和热电子崩力模型，考虑到超快脉冲激光辐照金属薄膜材料过程 中的热一力耦合效应，得到了完全耦合的、非线性的超快热弹性模型．运用具有人工粘性和 自适应步 长的有限差分算法，以脉宽为 100fs的脉冲激光辐照200nm厚金膜为例，对薄膜体内的电子一晶格 温度及温度梯度 、热应力和电子热流进行 了数值模拟研 究．结果表明：脉冲辐照早期为明显的非平 衡加热阶段 ，同时形成较大的热电子崩力；电子热流出现双峰现象；超快加热引起 的热应力是导致 薄膜力学损伤的主要原因． 关键词 ：超快脉冲激光；金属薄膜 ；超快热弹 ；热应力；非热平衡 中图分类号：0437；TN249 文献标识码 ：A 文章编号：1004—4213(2008)11-2172—5 0 引言 晶格之问的强耦合作用传递给附近的晶格 ；同时另一 部分能量将通过电子传递给较深区域 的电子 ；并且在 超快脉冲激光的脉冲宽度在亚皮秒 (ps)到飞秒 这个阶段，热流被限制在热扩散深度区域内． (fs)量级，由于其脉宽很窄，对相对较低的脉冲能量采 用于描述超快脉冲激光辐照金属薄膜材料的超 用多级 啁啾脉冲放大 (CPA)技术可 以获得拍瓦 快热弹性模型主要包括以下几个方面：1)热传导时 (1Ow)量级的峰值功率 】【]．超快脉冲激光的独特优 的两步加热过程 ；2)晶格温度与应变速率之间的耦 势表现为：1)超高的精确度 ；2)最低的附带热损伤；3) 合；3)动量传递过程 中的热电子崩力 ；4)热～力耦合 较大的材料烧蚀速率 ；4)对几乎所有材料的实际处理 效应．对均匀的、各向同性的弹性材料而言，描述其 能力．基于超快脉冲激光以上优势和加工的非接触性 超快形变的一维热弹性耦合方程为 1【“ 特点，在物理、化学、生物学 、医学、超精细微加工、数 字光学技术等方面都有着很好的应用前景口。]． ()一警 —T1)+S(z,t)(1) 超快脉冲激光与固体材料的相互作用过程是非 常复杂 的．为 了描述该 过程 的非平 衡热行 为， 飞(Te，T)詈 (2) Anisimov首先提出及 由Fujimoto进一步发展 的抛 C (T。) 一一 +G (To--T。)一 ， 物两步热传导模型[8-9]；Qiu和 Tien基于量子理论 和统计力学提出了更为严密的双 曲两步热传导模 (3A+2z／)dTI鲁 (3) 型 l【“；Tzou提出了宏观的双相迟滞理论 ，在适当 保留不同量级的热迟滞效应影响下，它可以描述微 钆 ： _r- 一K ㈤ 观的双曲两步热传导模型