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射频功率对非晶硅膜固相晶化效果的影响.pdfVIP

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  • 2017-08-11 发布于湖北
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射频功率对非晶硅膜固相晶化效果的影响.pdf

    射频功率对非晶硅膜固相晶化效果的影响.pdf

    : 鲁媛媛 等 射频功率对非晶硅膜固相晶化效果的影响 ０３０３３ 文章编号: ( ) １００１Ｇ９７３１２０１５０３Ｇ０３０３３Ｇ０４ 射频功率对非晶硅膜固相晶化效果的影响∗ １ １ １ ２ ２ , , , , 鲁媛媛 李贺军 杨冠军 蒋百灵 杨 超 　 ( , ; , ) 西北工业大学 材料学院 西安 西安理工大学 材料学院 西安 １． ７１００７２２． ７１００４８ : 摘 要 于不同射频

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