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材料表面覆盖层厚度无损测试技术 杨明太，吴伦强，张连平 (中国工程物理研究院，四川绵阳919信箱71分箱621900) 摘要：综述了用于覆盖层厚度无损测量的电磁性法、涡流法、B背散射法和X射线荧光法的方 法原理、适用范围及优缺点，并对相关仪器、厂商及仪器的发展趋势进行了评述。 关键词。覆盖层厚度，电磁性法，涡流法，口背散射法，X射线荧光法，无损测量 引 言 为使材料表面具有一定的强化、防护(如防氧化、防腐蚀)、装饰或特殊功能(如导电、绝缘、隔热、 隐形等)，可用物理的、化学的、或者其它方法，在金属或非金属基体表面形成一层或多层具有一定厚度、 不同于基体材料的覆盖层，以满足产品设计、使用要求。覆盖层包含了镀层、涂层、敷层、贴层、化学生 成膜等． 对材料表面施加覆盖层，以实现材料的特殊功能和性能，这一表面工程技术有着十分广泛的应用领域。 在工业生产中，覆盖层的厚度过薄将难以发挥上述作用，过厚则会造成经济上的浪费，而且，覆盖层的厚 薄不匀或未达到规定要求，将会对其机械物理性能产生不良影响。因此，材料表面覆盖层的厚度、均匀性 及其覆盖层材料的组分是最为重要的产品质量指标．对材料表面覆盖