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2017-08-11 发布于重庆
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基于压电陶瓷的精密进给系统的应用研究.pdf

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基于压电陶瓷的精密进给系统的应用研究.pdf

机械设计与制造第9 期 -124- ＭａｃｈｉｎｅｒｙＤｅｓｉｇｎ＆Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅ２００8 年9 月文章编号：１００１-3997 （２００8）09-0124-03 基于压电陶瓷的精密进给系统的应用研究* 徐源李蓓智张家梁闫如忠李诗（东华大学机械工程学院，上海201600） Research of precision feeding system based on Piezo-electric actuator 【摘要】压电陶瓷器件在精密定位和微位移控制中得到了广泛的应用，但是它存在着迟滞、蠕变等特点，给压电陶瓷的陶瓷的控制带来了困难。该系统设计了基于信号处理及特殊算法的闭环控制系统，应用于对压电陶瓷致动器的控制，并且在此基础上建立实验系统。实验数据分析结果表明，定位精度稳定在±0.02μm，良好的解决了压电陶瓷的非线性特点，满足高精密加工技术的需求。关键词：压电陶瓷；精密进给系统；迟滞特性；蠕变特性；闭环系统【Ａｂｓｔｒａｃｔ】Piezo -electric actuators were used widely in the field of precise positioning. But their characteristic of hysteresis and creep made them difficult to control. This system designed a close-loop control system based on special algorithm ，to control the piezo -electric actuators ，then developed an experiment system. The result showed that the position accuracy of the system could be controlled in ±0.02