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类金刚石薄膜力学特性的分子动力学模拟.pdf
59 8 20 10 8
第 卷第 期 年 月 物 理 学 报 Vol . 59 ，No . 8 ，August ，20 10
1000 -3290 / 20 10 / 59 (08)/5687-05 ACTA PHYSICA SINICA 20 10 Chin . Phys. Soc .
类金刚石薄膜力学特性的分子动力学模拟*
权伟龙1)2 ) 李红轩1) 吉 利1) 赵 飞1) 杜 雯1) 周惠娣1) 陈建敏1)
1)( ， 730000 )
中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室 兰州
2 )( ， 730070 )
兰州交通大学数理与软件工程学院 兰州
(2009 11 9 ;2009 11 27 )
年 月 日收到 年 月 日收到修改稿
Brenner REBO ， ，
基于 的 势函数 利用分子动力学方法模拟了含氢量不同的类金刚石薄膜的纳米压痕过程 依据
3
， 、 . : sp
得到的加载卸载曲线 计算了薄膜的刚度 硬度以及弹性模量 结果表明 类金刚石薄膜的硬度由氢含量和 键含
; 39 % ， sp3 ，sp3 ， ;
量两个因素共同决定 当薄膜中氢含量小于 时 薄膜硬度主要取决于 键含量 键越多 硬度越高 当薄
52 % ， ， .
膜中氢含量达到 薄膜硬度则显著下降 此时氢的作用占据主导地位
: ， ， ，
关键词 类金刚石薄膜 分子动力学模拟 纳米压痕 硬度
PACC :7 115 Q ，6855
程， - ，
从加载 卸载曲线计算了薄膜硬度 并对氢含量
1. 引 言 对薄膜硬度的影响进行了讨论.
，
最近的实验研究表明 含氢碳膜在惰性气体或 2. 模型与方法
者真空环境下的摩擦因数可以达到 0. 005 以
［1— 3 ］
. ，
下 作为固体润滑涂层 这种超低的摩擦因数使
2. 1. 初始薄膜制备
. ，
含氢碳膜具有十分广阔的应用前景 但是 氢原子
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