无尘车间更节能妙招(必须看).pdfVIP

本文来自 洲上净化科技有限公司 无尘车间里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调（HVAC）、工 艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费 电力及HVAC 的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压 缩前期投入，而不顾后期运行费用。高效率的设计和高效率设备需要很大的前期投入。 那种 “小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本，会造成工厂的运行性能降低和能耗 增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中。升级的投资收回率 通常比直接购买新设备要高很多。大部分工厂设备翻新的投资回收期不超过两年――也 就是说，通常投资收回率至少是50%，对照投资新的固定资产，则只有10%到15%（即投 资回收期需要七年时间）。这些情况降低了企业的竞争力和投资股东的兴趣。在今天高 度发达的工业中，工厂运行和产品设计一样需要改革。 高效率地利用能源的例子很多。挖掘浪费的能源比卖产品更能增加利润，因为节 约下来的钱在最终效益中马上就能体现出来。虽然能源的成本占晶片产品成本占不到百 分之二，但是电能却是晶片制造商在运行中的开支却是最大的，每座工厂每年总共要消 耗上百万美元的电能。在新建工厂时，节能措施可以节约资本和建造时间。虽然初步设 计报价昂贵，但是经济翻新的可能性仍然存在。设备翻新的投资回收期不超过两年，总 体而言，在某种程度上投资收回率是较高的。 下面是新建和现有工厂提供解决能效的十个技巧，不但提供了可靠的技术，风险 也最小、而且费用低或者不需要花钱，而投资回收期又很吸引人。 一、低断面风速设计 断面风速就是空气处理部件中空气经过过滤器或者加热/冷却盘管的速度。 低断面风速 （LF ）设计使用更大的空气处理器和较小的风机，从而降低空气的流 速，降低能耗和设备寿命成本。 大部分工程师根据“经验”把空气处理器设计成500英寸/分钟。这样的设计虽然 节省时间，但是却增加了运作费用。在低断面风速（LF ）设计中，使用更大的空气处 理器和更小的风机，从而降低空气的流速，降低能耗和设寿命成本。 压降决定了风机的能量损耗。由“平方定则”可知压降与速度下降的平方成正比。 如果断面风速降低20%，那么压降将下降36%；如果断面风速降低50%，压降将下降四分 之三。根据 “立方定则”，风机能耗的变化与流量变化的立方成正比。如果空气流量降 低50%，风机能耗将下降88%。 因此，较大尺寸的空气处理器、较大的过滤器和盘管面积消耗较少的风机能量， 可以使用比较小的风机和马达。小风机给空气添加的热量比较少，降低了冷却的难度。 厚度小的盘管更容易清洗、工作效率更高，所以冷冻水的温度可以更高。过滤器在低断 面风速情况下，工作效果更好、寿命更长。 LF 设计减少了空气和水的压降，减小了冷却盘管的带水量。流线型设计，几乎没 有尖角，从而使压降减少10%到15%。 LF 设计也可以把压降降低四分之一。目标是使能量损耗降低至少25%，减小变速 风机的大小。最优的断面风速范围是250-450英尺/分钟，具体取决于使用情况和能量 消耗。 二、换气次数 无尘车间维持一定的空气流量来保持清洁度和颗粒数。流量根据每小时的换气次 数来确定，同时这也决定了风机尺寸、建筑构型和能量消耗。在保持洁净度的前提条件 下，空气流速的降低可以降低建造及能耗成本。换气次数降低20%就可以使风机的尺寸 降低50%。空气洁净度比节约能耗更重要，但是最新的研究成果已经有降低洁净成本的 记载了。 关于最佳换气次数还没有达成共识。许多原则都已过时，是建立在老观念上，采 用低效的空气过滤器。调查显示，ISO第5级标准的无尘车间推荐的换气次数变化范围 是从250到700以上。 美国的一所国家实验室正在确定ISO第5级无尘车间的标准。研究显示，实际换 气次数范围是90到250――比操作规程标准低很多，而且不会影响生产和洁净度。因此 建议ISO第5级无尘车间的换气次数大约是200，保守的上限是300。 三、马达效率 马达消耗了无尘车间的大部分电能。连续运转的马达每月消耗大量的电力。适当 地提高效率、适当地调节尺寸，在翻新后，经济效果多半是不错的。效率增加几个百分 点，利润就可增加。 使用优质高效的马达，不一定会花费太多。高效率意味着最小，在改变马达的尺 寸之前先尽