无尘室内异物管理基本原则.pptVIP

無塵室內異物管理基本原則 不帶入 不把外面的塵埃帶入無塵室內 不殘留 無塵室內因狀況而產生之塵埃，不可殘 留無塵室內 不產生 人員和物品，設備在無塵室內不可因不當之 動作而產生塵埃 無塵環境等級 與異物數量之關聯性 英制單位：為每立方英呎0.5μm以上粒子數 SI制單位：為每立方公尺0.5μm以上粒子數取其對數 CLASS 100相當於SI制M3.5 無塵環境設計與施工概念 層流式無塵環境 層流是指空氣由上方天花板完全吹出再由高架地板回風，氣流由上而下，無塵室內沒有死角，能將塵埃在最短時間帶走 亂流式無塵環境 由局部出風口吹入潔淨之空氣，再由回風管(柱)或回風牆回風 無塵環境設計與施工概念 垂直層流式無塵環境 無塵環境設計與施工概念 水平層流式無塵環境 無塵環境設計與施工概念 層流式無塵環境優缺點 優點：效果完全 若在作業狀況中影響較小，運轉後迅速 可達到所需之落塵控制量，管理容易 缺點：設備費用高(維護費用高) 換過濾網校麻煩 適用於 Class 1,10,100 無塵環境設計與施工概念 亂流式無塵環境 無塵環境設計與施工概念 亂流式無塵環境優缺點 優點：設備費用低，維護費用低，往後若需擴充較方 便，若再配合無塵操作台或亭(Clean Bench or Booth)，則可確保局部高度清潔 缺點：因為亂流容易產生死角所以污染粒子可能在內 部循環運轉後要達到所需之清潔度，需要一段 時間方可達到，人員與機械的配置必須注意配合 適用於 Class 1000,10000,100000 設備製程來源異物管理 設備發塵規格制定與量測：設備共通規格規範 設備定期清掃點檢：作業指示書規範 原物料管理 物料進出無塵室管理：作業指示書規範 產品製程中檢查：製程檢查設備 量測位置：設備外緣10cm處每隔1m設一量測點量測高度：高架第地板上120cm處規格值：0.3μm以上粒子 30個/立方英呎以內 0.5μm以上粒子 10個/立方英呎以內 0.1μm以上粒子 2個/立方英呎以內 設備製程來源異物管理 設備發塵規格制定與量測 各製程不良缺陷簡介 各製程不良缺陷簡介 各製程不良缺陷簡介 各製程不良缺陷簡介 人體發塵來源異物管理 人員作業服裝選擇：作業環境需求為依據 人員無塵衣清潔管理：潔淨度維護 人員進出無塵室管理：作業管制 無塵室內54%塵埃來源來自人員 人體發塵來源異物管理 人體發塵程度 ＊喫煙は必ずクリーンーム外でおこなう。喫煙後はタバコを吸わい人の100倍程度の煙(0.17μmサイズでみたとして)が息から検出されるが5~10分後には正常值に戾る。 人體發塵來源異物管理 愛煙人您知道抽煙的發塵狀況嗎 表7 愛煙家はクリーンルームに入ないか? * * 700 100000 100000 70 10000 10000 7 1000 1000 100 300 100 10 30 75 350 10 1 3 7.5 35 1 5.0μm 0.5μm 0.3μm 0.2μm 0.1μm CLASS 環境來源異物管理 無塵室環境測試 工程完工時之無塵室 無塵空調系統已運轉，機械設備尚未進入 停止工作之靜態無塵室 機械設備已定位且在運轉，但人員尚未進入動作 作業動態中之無塵室 所有設備運轉動作，作業人員正常工作中 測試項目： 清淨度，溫度，溼度，風速，室內之正壓值， 補充新鮮外氣風量，照度，噪音…..等 環境來源異物管理 無塵室環境長期監測 清淨度：氣中粒子計數器 液中粒子計數器 Wafer粒子計數器 玻璃表面檢查設備 風速：三次元風速計 絹絲法 有機與離子腐蝕接觸角UV潔淨設備 溫溼度計 氣壓計 22