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无尘室异常处理数据Trouble Shooting 提供一些简易与无尘室运作相关之trouble shooting项目，以便于发现异常时之判断分析之用。 一．无尘室正压异常： 原因 确认方式 处理 差压sensor读值异常 比对差压sensor读值 送校，修理或更换 排气量超过设计值 量测排气系统之排气量并比对原设计值 确认排气系统是否已做平衡调整 增加MAU数量或提高其负载 MAU滤网太脏致使MAU送风量减小 检视MAU之初，中级滤网及HEPA滤网是否超过设计值 更换滤网 MAU风车异常无法启动 检测马达之绝缘及相关电力质量 检测MAU与监控系统之相互联通控制是否正常 修复 从MAU到无尘室间之风管有风门被关闭(风门包含风量调节风门，防火风门等) 检查风门之开闭 将风门打开或修复 MAU出口之风门未能与风车联动致使MAU无法送风 现场检测风门之联动状况 修复 COMMON DUCT静压太高，而release damper配重不足，因而release damper打开造成风车送风旁通 检视MAU之风车段内的release damper开闭状态 检讨common duct静压值之合理性及其肇因 修正release damper之配重 MAU为手动控制致使无法随负载增加送风量 检视MAU之运转状态 改为自动控制 原因 确认方式 处理 差压sensor之户外参考点错误或受干扰 检视sensor之安装 修正 无尘室内有异常之开孔未被封闭 检视现场 将开孔封闭 外气吸入口有杂物或其它异物阻塞 现场检视 修正 二．无尘室湿度异常： 原因 确认方式 处理 MAU送风量超过设计值，致使盘管无法负荷，而送风湿度过高 检测MAU之送风量 将MAU的风车风量降低 MAU冰水盘管之送水量不足，致使送风湿度过高 检测冰水供应源之供应量 检查从冰水供应源管路间是否有阀未打开完全 检查控制阀动作是否正常 检查冰水管路与其它管路间之平衡是否已执行 消除原因，提高送水量 加湿器无法正常动作 检测加湿器之状态 修复 风管负压且气密不良造成外气渗入 现场检测 修复 无尘室气密不良造成外气渗入 现场检查 修复 湿度sensor异常 比对湿度sensor之读值 校正，送修或更换 MAU补入空气量不足 确认MAU之外气供应量 检查从MAU到无尘室内之风管是否有风门未完全打开 加大MAU供应量 打开风门 三．无尘室温度异常 原因 确认方式 处理 无尘室机台负载超过原设计值 量测干盘等之风量及进出风温度并比对与原设计之差异 降低干盘管之进水温度以增加干盘管之能力 机台扩充且FFU数量亦扩充造成干盘管超过原设计值 检讨原设计与实际之差异 降低干盘管之进水温度以增加其能力 干盘管之过滤网太脏致使循环风量下降 现场检视过滤网 更换 FFU之ULPA或其上方之过滤网太脏，致循环风量下降 确认ULPA之使用年限 检视FFU上方之过滤网是否太脏 更换 干盘管之冰水送水温度过高 查看冰水送水温度 修正 干盘管之冰水送水量太小 检视冰水之进水进出水压力差及温度差是否合理 补足水量 循环泵浦损坏 现场检视先行切换以利判断 修复 控制阀动作异常 检视控制阀之动作是否正常 修复 温度控制sensor异常 比对温度sensor读值 校正，送修或更换 温度sensor位置错误或受到干扰 检讨sensor安装位置与现场之实际状况 更换位置 每一个shaft的干盘管回风不均匀造成干盘管负载过大 现场量测检视 平衡调整 干盘管表面风速不均匀性过高且无法提供有效混合 现场量测并检视气流场 改正不均匀性 MAU送风温度太低(高)且与FFU回风混合不均匀 现场量测并检视温度分布 改善 四．无尘室洁净度异常 原因 确认方式 处理 ULPA有渗漏或破洞 用particle counter于现场量测 更换 FFU之布置、高架地板及机台间搭配不当致使过多异常乱流，无法有效排除particle 检视风向、高架地板、FFU布置及机台之合理性 调整或改善 机台、AGV等未清洁干净 查看 清理干净 MAU之HEPA有破洞造成过不干净空气送入无尘室内 检视 更换 人员未依规定进出无尘室 稽查 加强管理 机台不当排气，污染无尘室 现场检视 改正 五．无尘室气流偏移 原因 确认方式 处理 高架地板开孔板之布置因为机台摆置而偏离原设计 现场检视气流偏移状况 比对机台摆置图与高架地板布置图之差异 检讨并调整高架地板 高架地板之压力损失分布不当 现场检视高架地板开孔板之分布状况 检视机台之摆置与高架架地板之关系 调整高架地板 不当FFU回风开口 现场检视 改正 不当隔间或垂帘与高架地板分布 现场检视及量测 改正 亚翔工程股份有限公司