Nikon扫描光刻设备需求看旺订单多来自LCD和逻辑芯片制造商.pdfVIP

维普资讯 鼍 电 子 工 业 专 用 设 备 · 行业快讯 · 另有 2座正在建设中。根据 2007年 10月版 的晶圆 巨大设备需求，以应对明年可能出现的存储制造商 厂产能报告，日本300mm产能将 由2006年的月产 资本支出减少的局面。 27．2万块猛增至 2007年底 的月产 42．9万块，而到 Nikon日前预测，明年其最新款的扫描光刻设 2008年底 300mm产能预计可达月产 57．1万块。 备将会有强劲需求，用于微芯片和大面积玻璃衬底 除了300Inln晶圆制造 ，日本也是后端制造的投 的制造。 资热土。日本器件制造商们在 2003~2006年间在封 Nikon精密设备业务主管 KazuoUshida指出， 测和装配设备上投入达 62亿美元。尽管许多 日本制 这些设备订单主要来 自中国台湾地区的平板和逻 造商在中国布局传统引线框封测工厂，但大多先进 辑芯片制造商。 封测业务仍保留在 日本本土。 据悉，由于平面 电视市场的发展 ，LCD面板面 临短缺，这为半导体设备制造商们带来机会 。设备 商们正蒙受因存储器价格下滑而引发的制造商资 本支出减少，并且渴望能在逻辑芯片等其他领域得 到弥补。 Nikon 目前主要的竞争对手是荷兰设备制造巨 据 日经BP社报道 ：东丽道康宁将于 2008年 1 头 ASML和 日本本土劲敌 Canon。 月上市在周 围变暗 时发光 的硅 密封材料 “Dow ComingTorayCY50．200PPo该材料含有蓄光成分 ， 将 日光及照 明等的光储蓄(蓄光)在材料 内部 ，可在 周围变暗时发光的硅密封材料。用于地铁站 内以及 医院等 的地板及墙面上 ，可 以作为停 电时 自发发光 的导向牌使用 。可以用于普通住房的安全措施，还 据 国外媒体报道 ，在晶体管诞生 60年后的今 考虑用于将来的趣味性用途。 天，其体积几乎缩小到了极限，这就意味着它 已经 新产 品是糊浆状的密封材料，由于遇到空气 中 步入 “老年时代 ”。 的湿气会变硬，因此可以形成多种形状 。作为墙壁 1947年 12月 16 日，WalterBra~ain和 John 的瓷砖填缝料使用，可 以形成指示路线的线状指示 Bardeen发 明了世界上第一个 晶体管 。10年后 ，晶 标志 。 体管被首次应用到硅芯片中。而如今，晶体管的体 JISZ9107规定了导 向牌所需要的蓄光性指 积 已经缩小到一定程度 ，很难再有较大突破。 标——停止光照后的余辉亮度 。具体规定为，20 一 旦芯片厂商不能将更小体积的晶体管集成到 min后要达到 24mcd／m2以上 ，60min后要达到 同样尺寸的硅片中，那么芯片产业在过去几年中所 7mcd／m2以上，而新产品的余辉亮度约为 JIS标 经历的性能提升和成本削减将不复存在，而推动数 准的3倍。另外，由于采用硅类材料，耐热性和耐候 字革命 的动力可能也会因此而停止 。即使摩尔定律 性出色，即使 日光直射下的室外，也可以长期使用 。 的发明者戈登 ·摩尔也是这样认为的。他说：“摩尔定 律也只能再维持