微小摩擦测试系统中扰动观测器应用研究.pdfVIP

微小摩擦测试系统中扰动观测器的应用研究 李振波，杨红红，肖永利．张琛 上海交通大学信息存储中心 上海200030 摘要：本文提出了重构微摩擦测试系统中常值未知外扰的全阶观测器，以获得加载在摩擦测 试元件——微马达上的摩擦力距的大小。正压力的施加值是通过对施力装置——音圈电机和 ● 传动部件所施力的事先标定来获取。从而解决了微摩擦测试研究中传感器园被测空间小而无 法安装的困难。研究表明，这种测试方案对微小摩擦的研究提供了一种有效的方法。 关键词：微小摩擦，扰动观测器，微马达 I j 1引言 微电子机械系统的深入发展使得微小摩擦的研究成为热点研究方向。微小摩擦是影响微 电子机械系统总体性能的关键因素之一。当前的微机电系统一般是采用pⅢ级的工艺，∞级 的元器件，制造出cm级的系统。由于微机电系统是基于毫、微米级的微小系统，宏观系统 中大量存在的摩擦问题必然会对微机电系统产生更大的影响[I】。微机电系统中的摩擦介于宏 观摩擦与微观摩擦之间，称之为“微小摩擦”。目前人们对微型机电系统的研究主要集中在 系统的机理上，还很少有人涉足这一领域的摩擦研究．因而在这方面的研究是极有价值的 …[“。 2微小摩擦的测试思想 验证毫米、微米尺度上的微小摩擦是否符合宏观摩擦规律中的第一定律，只需对摩擦运 动副问产生的摩擦力和法向载荷(即正压力)进行测量。由于微机电系统中器件体积结构较 小，传统的摩擦测量装置无法对其进行铡量，亦不适合用原子显微镜和摩擦力显微镜进行测 量。本文提出了一种全新的思想，对毫米、微米尺度上的摩擦进行测试分析，并加以论证。 其主要思想是采用电动机同时作为驱动和测量测量装置，将状态观测器引入微小摩擦的测试 中。通过构造微型电动机的扰动全阶观测器间接获得摩擦力矩的大小，所施加的正压力值则 通过对音圈电机输出力与输入电流之间的关系曲线离线标定来获取。如图1所示。状态观测 器的应用取代了传统摩擦测试中的传感器。 3常值扰动下观测器设计原理 微小摩擦测试中，所施加的摩擦力矩 是阶跃变化的，可以看作是阶跃常值型负 载，其表示式为吖，=0·为对微小摩擦 进行分析，就要对这类负载进行测量。为 此首先分析转速和扰动观测器。己知带扰 。 动的传动系统其结构图如图2所示，其状 态方程和输出方程如(1)、(2)式所示。 图1微摩擦测量原理示 (1) x=AX+Bn—Itlwf J，=CX (2) 常值不可最4扰动方程为 (3) M，=0 将式(1)、(2)、(3)合成一增广系统，如式(4)所示 100 Ⅲ辩料阳 ㈤ ， f石]