聚焦离子束扫描电镜双束系统在材料研究中应用.pdfVIP

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2017-08-10 发布于安徽
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聚焦离子束扫描电镜双束系统在材料研究中应用.pdf

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2013年度北京市电子显微学研讨会暨第九届全国实验室科学管理交流会论文集聚焦离子束扫描电镜双束系统在材料研究中的应用王榕，杨文言清华大学摩擦学国家重点实验室，北京100084 【摘要】近年来，聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB)因具有独一无二的优势，而成为材料科学、微纳加工、半导体器件制造等应用中的一种重要手段。尤其是其精密加工和定位加工的特点，获得了众多研究者的青睐。本文介绍了聚焦离子束电镜双束系统在材料研究中的几种应用。【关键词】：聚焦离子束扫描电镜(FIB)：双束系统；应用 The ofFocusedIonBeam Electron Applications Dual Scanning Microscopy Beam inMaterialsResearch System Abstract：Inrecent ionbeamscanni elec tronmi years，focused ng croscope anewmethodinmaterial (FIB)become semiconductor device forits manufacturingapplicationsuniqueadvantage． Inthis ofFIBdualbeam inmaterial paper，theapp]ications system researchhavebeenintroduced． Words：focusedionbeam electron Key scanning microscope(FIB)，dualbeam， application 随着纳米科技的不断进步，人们对材料微纳尺度的加工需求越来越大。聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB)双束系统因具有高强度聚焦离子束对材料进行微纳米尺度精密加工、并结合扫描电子显微镜(SEM)进行实时观察的优点，充分发挥了聚焦离子束和电子束两者的长处而成为制造纳米器件、加工纳米结构的重要手段和重要方法。目前FIB在微纳米加工、半导体集成电路修补以及材料科学研究等诸多领域都有着广泛应用。 21 2013年度北京市电子显微学研讨会暨第九届全国实验室科学管理交流会论文集 1．聚焦离子束系统的工作原理本文采用的是TESCAN(捷克)公 IonSOUroe ExtractionelectrOdes 司生产的LYRA3聚焦离子束扫描电子 lens C0ndensor Ion seIe吐lOn turret 显微镜双束系统。其电子束采用的是场