多倍程激光干涉仪光路几何特性分析.pdfVIP

第29卷第4A期 计 量 学 报 V0 1．29 ，No 4A 2008年9 月 A( _n～ MEI ROLOGI ( 、A SINI CA Sept e mb er ，2008 多 倍 程 激 光 干 涉 仪 光 路 几 何 特 性 分 析 施玉书 ， 高思田， 卢明臻， 崔建军 ， 杜 华 ( 中国计量科学研究 院长度计量科学与精密机械测量技术研究所，北京 100013) 摘要：针对纳米计量高分辨 力的要求，应用光学倍程法设计了一套基于Mi hel s on激 光干涉仪原型的多倍程激 光干涉系统。该系统光源 由保偏光纤直接 导入，采用共光路、立体空间布 局设计。通过建立模型分析该干 涉系统 的几何特性 ，得出移动镜偏转对该系统带来的影 响可以得到有效补偿，因而光路具有很好的稳定性。出射的参考 光与测量光始终保持平行，便于干涉系统光路的整体布局与信号接收，同时易于光路的调节从而获得对 比度高、信 噪 比好 的干涉信号。 关键词：计量学；光学倍程 ；干涉仪；纳米计量 ；几何特性 中图分类号：TB92 文献标识码：A 文章编 号：1000- 1158(2008)4A- 0043—05 Anal ys i s of t he Geomet r i Cha r a t e r s of Of 州例Mu l t i —pas s La ser I nt er f er omet er SHI Yu—s hu ， GAO Si —t i an ，LU Mi ng—zh en， CUI J i a n—j un ，DU Hua ( Di vi si on of Met r o l ogy i n Len gt h an d Pr e i s i on Engi ne er i ng，Nat i onal I ns t i t ut e of Met r o l ogy ，Bei j i ng 10 0013，Ch i na ) Ab st r a t ：To mee t t he r equ i r eme nt s of hi gh r e sol ut i on i n na nomet r ol ogy，a mul t i —pa ss l as er i nt er f eromet er syst em i s desi gned ba sed on t he pr ot ot yp e o f Mi he l son pol ari z ed i nt er f eromet er an d t he t e hni que of opt i al mu l t i —pa ss ．Th e l a ser s our e i s di re t ly onve ye d i nt o t he i nt er f eromet er sys t em by t he si ng l e—mod e PM(p ol ar i z at i on—mai nt a i n i n g) f i be r ．And t he me t h od s of eon MTl On—pa t h a nd s t er e o—b eam a re appl i e d i n t he l ayout o f t h i s sy st em．Thr ou gh t he est abl i shmen