扫描WQUID显微镜的垂直与水平移动系统.pdfVIP

第五届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议论文集 扫描SQUID显微镜的垂直和水平移动系统 鬣晓明“2丁红胜“2黎红1何豫生1 L中田科学院物理研究所，中国科学院凝聚志物理中心，北京100080 2中国科学院理化技术所低温中心．北京100080 【蔫蔓】本文重点讨论扫描s训ID显徽镜的垂直和水平移动系统．提出了一种新的垂直方向和水平 方向移动系统韵设计方案． 美t词：扫描显徽镜．SQUID．穆动系统 1引言 扫描S口【JID显徽镜是迄今为止探测徽米尺度磁结构最灵敏的设备．目前，显徽 镜的空问分辨率一般在2一10微米左右。因此．显徽镜在对样品扫描(水平方向移动) 时．要求移动的步长在微米数量级。由于显徽镜的空间分辨率除了与SQUID的探测线 圈大小有关之外，还与样品和s口IJID之间的间距有关(垂直方向)。这个闯距不能大于 探涌线圈的直径．所以移动装置和定位系统的设计构造与显微镜的工作性能直接相关。 国外目前所研制的扫描SQUID显徽镜，垂直方向的移动系统大部分都是采用压 电陶瓷结构，因为压电陶瓷的电致伸缩性很容易傲到亚擞米级的移动，而且也容易实 现计算机控制。其控制原理图如l所示，即将StlUID器件和检测线圈做在同一基片上一 检测线圈位于基片的顶端，将基 样品台 片安放在一个悬臂的斜面上，用 样品 计算机控制压电陶瓷．让悬臂上 压电传感器 升，当基片顶端与样品刚一接触． 压电陶瓷管 即由悬臂下方的压电传感器蓥 知，立刻停止上升，开始水平扫 描和测量． 圈1垂直方向秸动系统示意 水平方向的移动系统比 较复杂，类型比较多，大致包括 以下四种类型： ·本文于．2000年6月24日收到． 颜晓明等：扫描SQUID显微镜的垂直和水平移动系统 1、由步进电机、传动杆、螺拴和齿轮组成…，步进电机由计算机控制，通过驱 动传动杆、螺栓、齿轮等部件以促使样品台朝所需方向移动。 2、由步进电机、推杆、滑杆和弹簧组成”’．样品台套在滑杆上．一端项着推杆， 端顶着弹簧，推杆由步进电机驱动． 3、由步进电机、劈失和弹簧组成…。由步进电机驱动劈尖．劈尖挤压样品台， 使样品台平滑而缓慢地移动．当劈尖退出时。由于弹簧的弹力。样品台缓慢 退回． 4、由压电陶瓷传动．这种传动机构利用压电陶瓷的电致伸缩特性．可有两种工 作模式：即惯性模式和摩擦模式． ． 综合嗣外机构的—些研究经验，我首】提出了自己的研究方案． 2垂直方向移动装置的设计 图2和罔3分别给出了垂直方向移动装置的轴向圈和剖面图．主体移动部件为六 角形的兰宝石棒和六片单层(垂直方向基两层，每层三片)或多层切向移动的压电冉 瓷结构。每片由单独的功率放大嚣驱动，菸六路高压功放．功放的触发由软件控制． 高压功率放大嚣的性能好坏将直接关系到压电晶片的运动品质和寿命，根据需要 高压功率放大嚣的设计指标如下： 输出电压幅度：±l～±200V； 偏移电压量：±l～±200V 输出电流幅度：200以(最大)； 噪声：30mV(瑚s) 较低的TID值：0．1％； 开环输出电压摆动速率：0．1V／邺(