扫描近场光学显微镜及应用.pdfVIP

扫描近场光学显微镜及其应用 高眷清 北京理工大学光电工程系，北京100081 摘要 扫描近场光学显微镜是近年来出现的一种新型光电测量仪器，其测量分辨率可超过衍射极 限。本文介绍扫描近场光学显微镜的工作原理、仪器结构，并报道了用这种仪器测量半导体激 光器特性的实验结果。 1．前言 由于受到衍射极限的限制．我们常用的以成像方式工作的光学仪器(如透镜、显微镜等) 的空间分辨率最高为列2(x为仪器中所用光源的波长)，在许多应用场合这样的仪器难以满足 使用的要求。近年来出现了一种新型的光电测量仪器…．扫描近场光学显微镜(SNOM，Scanning NearField Qptical Microscopy)，这种仪器采用扫描方法而非传统的成像方法对被测元件进行测 量。SNOM的测量分辨率主耍取决于它所使用的扫描元件的大小及扫描元件与被测器件之间的 距离，而不取决于所用光源的波长。目前空间分辨率在几十纳米范围的扫描近场光学显微镜已 经应用于许多领域[1，2，3]。本文中我们将介绍扫描近场光学显微镜的工作原理、仪器结构， 并介绍用这种仪器测量半导体激光器近场辐射的实验结果。 2．扫描近场光学显微镜 圉1是扫描近场光学显微镜的原理结构图。与普通的光学显馓镜相比，扫描近场光学显 微镜增加了近场扫描部分【4]。实现近场扫描所用的扫描元件是光纤探针。它通常由～根芯径3- 59m的单模光纤加丁而成，加工后的光纤端部为锥形。为了在光纤尖端获得一个极小的通光孔 径，需在光纤端部镀金属瞪层，常用的膜层材料为铝。镀臌后光只能从光纤尖端一个极小孔径 通过【1】。幽2为一光纤探在扫描电子显微镜F的图像，光纤探针的通光孔径在100nm左右。 183 图1扫描近场光学显微镜原理结构图 ’／。。_-rp‘-‘√、■__-0·--j_√～·‘l ÷ f i j ： ；