微热板的热测试与热分析.pdfVIP

中■工器攥物理学盒 ，啪，t盯 传热恃曩掌学术套议 徽热板的热澍斌和热分析1 展t沁。张蘩海米■忠弹癜鼙(清华大学) 翔挂I蜊b京大鼍b●辅安t犬琏理工丈学) Q n H．‰翱岫_，kS畦¨嘲‘蝴季港科技太学) PKup 糠 ● ， 徽热板作为一种微型加热器在徽传感嚣中有着极为重要的作用．它的沮度拜书和 ，● 热特性直接影响锻传摩墨的工作性舱．本文针对研制中的气体传船的惫蔫扳·用虹 外热成像技术进行热测试和分析，获得气体传感暑徽热扳的微小区壤的温度分布，为 传巷器的研翻提供了可靠的依据． 1引言 近代高新技术的发晨提出了研翻徽型传感嚣的需蔓．其中．气体徽型传蓐量是一 种开发研究较多的嚣件，蕾先后有不褥赛型传巷嚣豹黛理分析、材辩研疆、设计和制 造研究的报道．金属氯化物半导体在不同温度下对不孵气体具有商夏鼍度的曩牧特性． 在暖收了气体以后就改变了氯化舶的电导奉，据此麓可以检测各种不周囊壅的气镩． 由此可知，侍感嚣必须由集成的徽加热嚣模块和信号转换器件组成，信号转换羹用以 检黉氧化物电导事的变化．显而墨见，气体徽传尊嚣的研究中徽加热嚣细jcl劬啊搬’。 也称徽热板(m妇懒I‘艟)的热分拆、热设计和热穗试是十分重薹的．车文捌用昱徽 红外热成像方法，对气体徽型传尊鲁的徽加热薯进行热测试，计算确定了鬣蛰鞭的■ 度分布，为器件的热设计和研制提供了必需的实验数据． 2气体传熹器的工作康理和钼：热板的作用 本文研究的棒蓐器的t寤层是Sn啦 膜，在28肛3000c温度范圈内，对一氧化 ● 碳气体有高灵敏度的吸收特性，所以必 须具有徽热板形式的徽型加热嚣．使传 ● 感器气体敏感膜处在合适舶温度范圈内 才能正常工作．对此徽热扳应有加热、 控温、均温及功率小的要求．气体传譬 嚣的擞热扳的扫描电子显徽镜(S阻)照 片如图l所示．徽热扳lIl上有加热电阻和 温度传蓐器，可蚍在400％的范圈内调控 ·置素自箍科学基盒理日责助．项且号：5蜩螂50．鲁港科技大学基金寰雎。硬目号t嘲娜㈣埔嗥E． 1联幕地址：北豪清华大学工程力学熏．电话·(olo)曰力筠拜，嘲吲：珊d衄日■__- ．●篮 徽热簟达到瑗室的工作 量度．板的上衰面上制 有需要加热工作的气体 传感器． 本文研究的徽热板 m主体材料是二氯化硅 和氯化硅．加热电阻为 多晶硅，接触电极为 Al／Ti一-／^u复合叠一多 ● 屡糜结构．结构示意姻 ● 如圈2所示．徽热板的 总辱度约为2．5坤，长 寅尺度约为120岫． 图2气体传感器的徽热扳的躅形 3徽燕板的热测试 徽热扳工作中重要的工作参教是显度及加热功率