位移场的光栅相移测量.pdfVIP

} 位移场的光栅相移测量+ ；一型垡尘堂型堡垫查 赵兵 方如华 ¨济^学T撑J，学崎技术系．】．水200092) 提奠 奉史夼绍～种光栅相位移宴脱方法驶娃微镜下的光栅相位移变形测量系统．和j用倾斜光学 ，r行’卜扳的折射教戊．使光栅的象产生偏仕i』}IⅡ实现相位社；对一透射式偏光娃徽镜进行改造，实现，娃 微镜下的甲向拉饰实验的位移场测蓝．测试最统凡柯1¨m的守问分辨毕003峄01um的位移精度． 关键词 光学’I，扳．折且于，啦微镜，相位移，倾钳朴偿器．卒问分辨半． 一、引言 光学显微镜是细、微观实验中经常川剑的观删l：贝。将显微技术与光栅法结台起米可 以进行细观尺度的材料变形分析，川光栅法得到的是光栅条纹l兰i。相位移技术是近年来兴 起的一种先进的条纹分析I：贝。与je它的数字幽像技术如载波及相荚技术相比·相位移技 术船突m的优点舀：1．，已是一种局部(点)分析法，对饵个织累点的测埘楚独立进行的．』j其 周用的象素无笑。所以，棚住移技术是比较适合要求高空问分辨率的测错。 光栅及云纹而内协移的相位移测艟…般妊通过平移光栅米实现的。在一般的显微镜(除 殴焦距显微镜外)p’要使光栅及试什L还要包括加载皱苴)实现微米级的精确移动是什凼娟} 的珥。本文介圣f{-一种新的相位移光棚i}14龄方法及相恿的显微镜测域系统，利Hj显微镜的倾 斜补偿器作为倾斜光‘}平扳米实现试仆光栅的{H移，克服了上述幽难，且易丁实现。‘ 二、原理及实验系统 I．倾斜平板折射与相位移 由r折射的影响，光线倾斜经过J孕度为∥的光学平行平扳后，虽然方向不变，但要产 _：偏移。如图1a所示。平扳与水平方向倾斜矗角，竖d入射光线A8在平扳pi的折射线为Bc， D为折射角，Ⅱj射光线CD仍为竖直线。光线AB与cD的水平偏移为cE。 平行扳的折射率： sin口 n=—■_： sln∥ (1) 可得剑cE的K皮为： +l冉加自然科学蚺金系点项lJ．教育部博I‘点螭台=项}l · ·36I 现代九学测试技术 j —————————————————————————————————————————、． 跚=蚓sin(d一∥)2南咖(口一肋 阳≤ lcE}=d151na—j了i孚!裔j 。。，．蘧 扳前穿过一水平放置的单向平}r光栅，光栅线的方向与平板的旋转轴00’一致。这样，光栅≤ 引起的相似移为： 。鬟 艄z譬砌茜mm州嗍引 (4)。 其巾．Ⅳ为反映平扳{17：笱放光学常数月的川f： 1： 一；强移魍黔耻。q莸牛‘0=-“}。簟’；=：tj电∥’： 砌)：s№一1害些 ?： 2、／，?。一(sin∞2 r‘、 2．倾斜补偿器 的显微实验袋盖南光中系统、采样及处删系统、加钱系统二部分组成。光学系统主要组成