KDP晶体表面残留颗粒的机器视觉检测方法研究.pdfVIP

机械设计与制造 第 12期 190 Machinery Design Manufacture 2014年 l2月 KDP晶体表面残留颗粒的机器视觉检测方法研究 关利超，丁杰雄，褚博文，赵旭东 (电子科技大学 机械电子工程学院，四川 成都 611731) 摘 要：KDP晶体是一种优质的非线性光学材料，广泛应用于激光核聚变等军工、国防领域。KDP晶体材质特殊，需采用 超精密加工技术进行加工，加工过程 中的杂质和抛光清洗液中的纳米级羰基颗粒容易吸附在其表面，对其光学特性影响 很大。采用机器视觉技术检测晶体抛光清洗后表面残留颗粒，使用光学显微镜获取表面微观图像，经过图像存储、图像增 强、边缘检测和图像分割等操作，将残留颗粒特征提取出来，然后进行图像标定、图像测量得到残留颗粒分布状态，对于 评价KDP晶体清洗结果、指导清洗过程和保证晶体表面质量有重要作用。 关键词：KDP晶体；颗粒检测；机器视觉；图像处理 中图分类号：THI6 文献标识码：A 文章编号：1001—3997(2014)12—0190—04 AttemptonDetectionMethodoftheResidualParticlesatKDP CrystalSurfaceBasedonMachineVision GUANLi—chao，DINGJie—xiong，CHU Bo-wen，ZHAOXu-dong (MechanicalandElectricalEngineeringCollege，UniversityofElectronicScienceandTechnology，SichuanChengdu611731， China) Abstract：TheKDP(PotassiumDihydrogenPhosphate)crystaliswideZyusedinthelaserfusionandothero2eo$ofthemilitary industryandnationaldefense珊ahighqualitynon-lineraopticalmateda1．KDPcrystalisaspecialmaterialandneedstobe machinedwithuhra-precisiontechnique．Theimpuritiesintheprocessofmachiningandthenozl~scalecrabonylpraticlesin htepolsihingcleaningfluidraeadsorbedonthecrystal$u~faceeasily，andtheresidualparticleshasagreatinfluenceonits opticalpropertcis．MachinevsiointechnologysiusedtOdetecttheresidualparticelsOnhtecrystalsulface erpolsihingand celaning．Thecrystal surfacemciroscopicimageisobtainedusingtheoptcial microscope，andtheresidualpraticle chraacteristcissipickedup erimagestorage，imageenhancement，edgedetectoinandimagesegmentatoin，etc．Atlast， theresdiualpartcieldsitributoinisgotthroughimagecalibrationnadimagemeasurement．Theresultplaysanimportantrolein evaluatingtheKDPcrystalclenaingresult，gudiingtheclenaingprocessandensuringthequali~ofcry