应用PDHID色谱仪检测超高纯氨(7N)方法研究.pdfVIP

应用PDHID色谱仪检测超高纯氨(7N)的方法研究 章复康1陈荷香1张天龙1 王 海 2王磊2黄军聘2 朱威莉2 1.上海科创色谱仪器有限公司，上海2018212.苏州金宏气体股份有限公司检测中心江苏苏州215152 摘要：应用PDHID气相色谱仪的后切割背景气放空的气路流程，采取背景扣除、基线扣除等手段，排除空气 微渗透的影响，以外标法检测超高纯产品氨(7N)中10ppb量级的H2、O2、N2、CO和CO2等杂质气体的方法进 行了实验研究。 关键词：PDHID色谱；电子级氨；超纯氨；杂质气体 TheResearchForTheContentMeasurementof7NAmmonia WithUsingThePDHIDinGasChromatography ZHANGFukang1CHENHexiang1ZHANGTianlong1 WANGHai2WANGLei2HUANGJunpin2ZHUWeili2 1.ShanghaiKechuangChromatographInstrumentsCo.,Ltd.,Shanghai201821,China